[發明專利]用于進行等離子體化學氣相沉積的爐子

有效

• 申請號: 201110333670.1
• 申請日: 2004-12-30
• 公開（公告）號: CN102383108A
• 公開（公告）日: 2012-03-21
• 發明（設計）人: M·J·N·斯特拉倫范;R·H·M·德克斯
• 申請（專利權）人: 德拉卡纖維技術有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C03C17/22
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 傅永霄

1.一種用于進行等離子體化學氣相沉積的爐子，其特征在于：該爐子具有金屬殼以防止高頻能量向環境泄漏。

2.根據權利要求1的爐子，其特征在于：該爐子中具有狹縫，波導管移動經過所述狹縫，所述狹縫用所述金屬殼覆蓋。

3.根據權利要求1或2的爐子，其特征在于：玻璃基管延伸經過該爐子的位置用金屬管環繞。

4.根據權利要求1至3中任意一項的爐子，其特征在于：所述爐子的內部具有一層吸收微波輻射的層。

5.一種用于進行等離子體化學氣相沉積的方法，其特征在于：在所述等離子體化學氣相沉積過程中，使用爐子使玻璃基體維持在800-1300℃的溫度，其中通過波導管向涂覆器傳送高頻能量，由于在所述爐子中存在狹縫，該波導管在所述的爐子內能來回移動，其中所述狹縫由板覆蓋，所述板具有金屬殼以防止高頻能量通過所述爐子中的所述狹縫泄漏。