[發(fā)明專利]一種鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜電阻率調(diào)控的制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110332789.7
• 申請(qǐng)日: 2011-10-27
• 公開（公告）號(hào): CN102412018A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段利兵;劉金銘;謝海燕;趙小如
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西北工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H01B13/00
• 分類號(hào): H01B13/00;H01B5/14
• 代理公司: 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 61204
• 代理人: 王鮮凱

1.一種鋁摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜電阻率調(diào)控的制備方法，其特征在于步驟如下：

步驟1制備鋁摻雜氧化鋅溶膠：以ZnAc₂·2H₂O和Al(NO₃)₃·9H₂O為原料，乙二醇甲醚為溶劑，乙醇胺為穩(wěn)定劑，Al元素占總金屬元素的摩爾百分比范圍為0-2.5at.％，總金屬離子和乙醇胺的摩爾比為1∶1，配制濃度為0.75mol/L的溶膠；將原料按照以上配比溶于50ml溶劑中，在60℃下攪拌2小時(shí)得到透明的溶膠，該溶膠在室溫下于空氣中靜置24小時(shí)，以備鍍膜；

步驟2清洗玻璃襯底：將玻璃襯底依次用洗滌劑、稀鹽酸、去離子水、丙酮、乙醇各自先浸泡1小時(shí)，然后超聲波清洗15分鐘，并將洗好的玻璃襯底放入乙醇中以備用；

步驟3鍍制薄膜：將玻璃襯底烘干然后浸入步驟1制得的鋁摻雜氧化鋅溶膠中，采用垂直提拉鍍膜法以3-5厘米/分鐘的速度提拉得到凝膠膜，經(jīng)過(guò)100℃干燥、于250℃-500℃溫度下預(yù)燒，再冷卻至室溫；重復(fù)本提拉過(guò)程后進(jìn)行鍍膜直至所需厚度，然后將制得的凝膠薄膜于空氣中250℃-550℃退火1-4小時(shí)，得到鋁摻雜氧化鋅薄膜；

步驟4鋁摻雜氧化鋅薄膜電阻率的調(diào)制：將得到的鋁摻雜氧化鋅薄膜先于10^-1Pa低真空550℃退火1-4小時(shí)，然后將其置于10^-2Pa高真空度于550℃退火處理1-4小時(shí)，觀察鋁摻雜氧化鋅薄膜電阻率的變化，并根據(jù)所要達(dá)到的電阻率選擇循環(huán)真空退火的次數(shù)。