[發明專利]檢查裝置

無效

• 申請號: 201110332038.5
• 申請日: 2011-10-27
• 公開（公告）號: CN102455303A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發明（設計）人: 赤羽至;木內智一
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89;H01L21/66;H01L21/677
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種檢查裝置，其包括：檢查部，其用于對檢查對象的基板實施規定的處理；以及輸送臺，其用于載置上述基板而輸送該基板，其特征在于，

上述輸送臺包括：

支承部件，其至少能夠沿輸送上述基板的輸送方向移動，并用于直接或間接地支承上述基板；

多個保持部，其以能夠沿與上述輸送方向平行地延伸的輸送軸移動的方式保持上述基板，并且能夠升降；以及

驅動部，其用于使上述保持部沿上述輸送軸移動；

上述檢查裝置還包括控制部，該控制部在上述保持部位于上述檢查部的處理位置的情況下進行使該保持部下降的控制。

2.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述檢查裝置還包括：

線性標尺，其具有沿著上述輸送軸的座標信息；以及

讀取部，其用于自上述線性標尺讀取上述座標信息；

上述控制部根據上述讀取部所讀取的座標信息來使該保持部下降。

3.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述檢查裝置還包括：

位置檢測部件，其設置于與上述處理位置對應的位置；以及

上述位置檢測部件的檢測對象，其與各保持部對應地設置；

上述控制部根據上述位置檢測部件檢測出上述檢測對象這樣的信息來使該保持部下降。

4.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述控制部根據上述驅動部的驅動速度及驅動時間而在規定的時機使該保持部下降。

5.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述檢查部具有用于對上述基板進行攝像的攝像部，

上述控制部使上述保持部下降到比上述攝像部的焦點深度靠下方的位置。

6.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述輸送軸至少通過上述處理位置。

7.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述驅動部設置于上述輸送臺的寬度方向的中央。

8.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述支承部件具有能夠沿上述輸送方向旋轉的多個自由輥。

9.根據權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述支承部件具有利用自空氣供給部供給的空氣而朝向上述輸送臺的上方吹出空氣的多個吹出孔。