[發明專利]一種磁懸浮晶圓旋轉系統

有效

• 申請號: 201110331987.1
• 申請日: 2011-10-27
• 公開（公告）號: CN103094171A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 汪明波
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種磁懸浮晶圓旋轉系統，其特征在于：包括可升降的上蓋支撐架(1)、上蓋(2)、磁流體軸承(6)、下腔體(9)及安裝在工作臺上的驅動電機(10)，其中驅動電機(10)的輸出端連接有下腔體(9)，該下腔體(9)通過驅動電機旋轉，在下腔體(9)內設有真空吸盤(4)，真空吸盤(4)上吸附有晶圓(3)，所述晶圓(3)與真空吸盤(4)隨下腔體(9)旋轉；所述上蓋支撐架(1)的一端與驅動裝置相連，另一端通過磁流體軸承(6)連接有位于下腔體(9)上方的上蓋(2)，該上蓋(2)隨上蓋支撐架(1)升降，所述上蓋(2)的下限位與下腔體(9)密封連接、形成密封腔體，通過摩擦力隨下腔體(9)同步旋轉。

2.按權利要求1所述的磁懸浮晶圓旋轉系統，其特征在于：所述磁流體軸承(6)內分別連接有位置傳感器(5)及中空電磁體(7)，該位置傳感器(5)及中空電磁體(7)分別與所述旋轉系統的控制系統電連接，其中中空電磁體(7)的一端與磁流體軸承(6)相連接，另一端為自由端、位于所述上蓋(2)上表面的上方；所述位置傳感器(5)與上蓋(2)同步旋轉。

3.按權利要求2所述的磁懸浮晶圓旋轉系統，其特征在于：所述中空電磁體(7)的一端與磁流體軸承(6)中的定子相連接。

4.按權利要求2所述的磁懸浮晶圓旋轉系統，其特征在于：所述位置傳感器(5)連接于磁流體軸承(6)中轉子的一端，磁流體軸承(6)中轉子的另一端與所述上蓋(2)的上表面相連接。

5.按權利要求1或2所述的磁懸浮晶圓旋轉系統，其特征在于：所述上蓋(2)的下表面設有與下腔體(9)上表面相對應的密封圈(8)，該密封圈(8)與下腔體(9)上表面內壁密封接觸。