[發明專利]三氯氫硅提純及控制系統

在審

• 申請號: 201110331649.8
• 申請日: 2011-10-27
• 公開（公告）號: CN102616788A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 姜海明;董海成;劉淑萍;曹忠
• 申請（專利權）人: 內蒙古神舟硅業有限責任公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種三氯氫硅提純及控制系統，其特征在于：所述三氯氫硅提純及控制系統包括原料緩沖罐、精餾裝置、濕氮氣配置裝置和儲罐；三氯氫硅原料由所述原料緩沖罐進入精餾裝置中進行提純，同時所述濕氮氣配置裝置將配置好的濕氮氣通入所述精餾裝置配合進行提純，提純得到的精三氯氫硅進入所述儲罐進行存儲。

2.根據權利要求1所述的三氯氫硅提純及控制系統，其特征在于：所述三氯氫硅提純及控制系統還包括控制系統，所述控制系統采用可編程邏輯控制器PLC對所述三氯氫硅提純及控制系統內各參數進行集中顯示和控制，在控制界面顯示裝置內的各溫度、壓力、流量、液位及回流比參數，對需要控制的點進行閉環自動調節，維持系統的穩定運行。

3.根據權利要求2所述的三氯氫硅提純及控制系統，其特征在于：所述三氯氫硅提純及控制系統還包括用于所述各精餾塔塔釜再沸器的循環導熱油系統和用于所述各精餾塔塔底冷凝器的循環冷卻水系統。

4.根據權利要求2或3所述的三氯氫硅提純及控制系統，其特征在于：所述精餾裝置包括第一、第二、第三隔膜計量泵，一級、二級、三級精餾塔和中間沉淀罐；所述第一隔膜計量泵將存儲至原料緩沖罐內的三氯氫硅原料連續通入一級精餾塔，一級精餾塔的塔頂餾出液進入中間沉淀罐中，沉淀完畢后再由第二隔膜計量泵通入二級精餾塔內進行第二級精餾，二級精餾塔塔底餾出液由第三隔膜計量泵通入三級精餾塔，三級精餾塔塔頂產出產品即為精制三氯氫硅，進入儲罐進行存儲。

5.根據權利要求4所述的三氯氫硅提純及控制系統，其特征在于：所述濕氮氣配置裝置包括專用加水裝置、電加熱器、氮氣儲罐以及依次設置在所述氮氣儲罐出口處的露點儀、質量流量計和調節閥；所述專用加水裝置將所需的微量高純水加入氮氣儲罐，然后啟動電加熱器對氮氣儲罐進行加熱配制一定濕度的濕氮氣，用露點儀檢測濕氮氣的露點，并用質量流量計和調節閥控制濕氮氣的流量，將其送入所述一級精餾塔中。

6.根據權利要求5所述的三氯氫硅提純及控制系統，其特征在于：所述控制系統包括由設置在所述各精餾塔的溫度變送器、壓力變送器、差壓液位計和回流比控制器構成的精餾控制單元。

7.根據權利要求6所述的三氯氫硅提純及控制系統，其特征在于：所述控制系統還包括所述露點儀、質量流量計、調節閥以及設置在所述氮氣儲罐上的溫度測量儀、溫度控制器、壓力測量儀構成的濕氮氣控制單元。