[發明專利]一種用于無塵室的移動式充電設備

無效

• 申請號: 201110329813.1
• 申請日: 2011-10-21
• 公開（公告）號: CN102361338A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發明（設計）人: 林順隆;黃詩穎;陳建宏;鐘志和
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H02J7/00
• 分類號: H02J7/00;H02N6/00;F03D9/00
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 曾紅

技術領域

本發明涉及一種無塵室系統，尤其涉及該無塵室系統中的移 動式充電設備。

背景技術

無塵室(Clean?Room)是污染控制的基礎，在某種意義上來 說，它是批量生產對污染較為敏感的電子元件的重要保證。具體 地，它可以是具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房 間，其通過特定規則的操作程序來控制空氣中懸浮的微粒子濃度， 以便達到符合要求的微粒潔凈度級別。

在半導體制造領域，尤其是液晶顯示器制造工藝中，該液晶 顯示器必須在非常精密的環境中進行處理。技術人員在無塵室中 工作時，需穿戴特殊的防塵工作服以減少異物(如灰塵)的產生。 此外，為使室內維持一定的潔凈度，通常在無塵室的上方設置多 個風扇濾網機組(FFU，Fan?Filter?Unit)，從而經由這些風扇濾網機 組來輸入一定潔凈度的氣體進入無塵室內部。以無塵室內的移動 載具(如，卡匣)為例，該卡匣用于測量無塵室內的微粒子濃度， 在移動量測過程中，無法使用市電進行供電，若采用24V電池來 提供工作電源，也僅僅能夠維持4小時左右，之后再將電池拆除 更換，還要耗費大量時間將卡匣移送至充電站重新充電。因而， 現有技術中的卡匣會導致大量的能源消耗，而且也降低了微粒子 濃度的量測效率和量測速度。

有鑒于此，如何設計一種適用于無塵室內的移動式充電設備， 使卡匣在移動量測過程中能夠持續地提供工作電源，以便提高微 粒子濃度的量測效率，加快量測速度，是業內相關技術人員亟待 解決的一項課題。

發明內容

針對現有技術中的無塵室內的移動載具在使用時所存在的上 述缺陷，本發明提供了一種移動式充電設備。

依據本發明的一個方面，提供了一種移動式充電設備，適用 于一無塵室的移動載具，其中，該移動式充電設備包括：

一能量轉換部件，用于將一可再生能源轉換為一第一電源， 該第一電源為一交流電或一直流電；以及

一變頻器，與該能量轉換部件相連接，用于將該第一電源轉 換為一第二電源，該第二電源為一交流電；

其中，移動載具在移動過程中，利用移動式充電設備生成的 第二電源為多個電子儀器進行供電。

優選地，該移動載具為一卡匣，用于測量無塵室中的微粒子 濃度。

在一具體實施例中，能量轉換部件為一通風球，裝設于卡匣 的上方，該通風球在無塵室的回風風壓所形成的氣流驅動下發生 旋轉，從而將風能轉化為第一電源。在另一具體實施例中，該能 量轉換部件為一組風車，裝設于卡匣的前方，通過卡匣在移動過 程中所產生的風力來帶動風車的葉片轉動，以將風能轉化為第一 電源。進一步，變頻器為一交流-直流-交流變頻器。

在一具體實施例中，該能量轉換部件為一太陽能發電板，鋪 設于卡匣的上方，該太陽能發電板接收來自無塵室中光源的光， 以將光能轉化為第一電源。此外，變頻器為一直流-交流變頻器。 此外，該太陽能發電板還包括一充電電池，用于儲存經由光能轉 化后的第一電源所對應的電能量。

優選地，該電子儀器為一微粒子量測儀、一行車記錄器或一 照明電燈。

采用本發明的用于無塵室的移動式充電設備，通過其能量轉 換部件將一可再生能源(如風能或太陽能)轉換為電能，并通過 變頻器將所轉換的電能變成穩定的工作電源，以使得無塵室內的 電子儀器在卡匣移動過程中仍然能夠持續可靠地工作。此外，在 移動載具中裝設本發明的移動式充電設備后，無需將卡匣搬回充 電站進行充電，不僅節約了能源，而且還提高了卡匣的量測效率 和量測速度。

附圖說明

讀者在參照附圖閱讀了本發明的具體實施方式以后，將會更 清楚地了解本發明的各個方面。其中，

圖1示出依據本發明的一個方面，用于無塵室的移動式充電 設備的結構框圖；

圖2示出圖1中的移動式充電設備的能量轉換部件的第一優 選實施例；以及

圖3示出圖1中的移動式充電設備的能量轉換部件的第二優 選實施例。

具體實施方式