[發(fā)明專(zhuān)利]太陽(yáng)能電池RIE工藝溫度補(bǔ)償方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110329442.7
• 申請(qǐng)日: 2011-10-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102364700A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-02-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專(zhuān)利事務(wù)所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池RIE制絨技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種太陽(yáng)能電池RIE工 藝溫度補(bǔ)償方法。

背景技術(shù)

反應(yīng)性離子蝕刻(Reactive?Ion?Etching)簡(jiǎn)稱(chēng)RIE，是結(jié)合(1)物理性的離 子轟擊與(2)化學(xué)反應(yīng)的蝕刻。此種方式兼具非等向性與高蝕刻選擇比等雙重優(yōu) 點(diǎn)，蝕刻的進(jìn)行主要靠化學(xué)反應(yīng)來(lái)達(dá)成，以獲得高選擇比。加入離子轟擊的作 用有二：一是將被蝕刻材質(zhì)表面的原子鍵結(jié)破壞，以加速反應(yīng)速率。二是將再 沉積于被蝕刻表面的產(chǎn)物或聚合物(Polymer)打掉，以使被蝕刻表面能再與蝕刻 氣體接觸。而非等向性蝕刻的達(dá)成，則是靠再沉積的產(chǎn)物或聚合物，沉積在蝕 刻圖形上，在表面的沉積物可為離子打掉，故蝕刻可繼續(xù)進(jìn)行，而在側(cè)壁上的 沉積物，因未受離子轟擊而保留下來(lái)，阻隔了蝕刻表面與反應(yīng)氣體的接觸，使 得側(cè)壁不受蝕刻，而獲得非等向性蝕刻。通過(guò)調(diào)整氣體流量及射頻能量可獲得 非常低的反射率，提高短路電流，因而可應(yīng)用于多晶太陽(yáng)能電池的制絨工藝上。

現(xiàn)有RIE工藝在連續(xù)作業(yè)時(shí)，因?yàn)榈入x子體的轟擊，基板溫度逐漸升高， 制作出的電池片反射率隨之升高。這將導(dǎo)致最終的電池片電性能受影響。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種太陽(yáng)能電池RIE工藝溫度補(bǔ)償 方法，引入溫度補(bǔ)償系數(shù)以穩(wěn)定反射率，提高RIE工藝的穩(wěn)定性。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的方案是：一種太陽(yáng)能電池RIE工藝溫度 補(bǔ)償方法，具體步驟如下：

a)每次作業(yè)之前通過(guò)熱電偶或紅外線(xiàn)溫度偵測(cè)儀偵測(cè)基板溫度；

b)此溫度值將反饋至操作系統(tǒng)，系統(tǒng)根據(jù)溫度值計(jì)算出實(shí)際工藝時(shí)間，工 藝時(shí)間計(jì)算公式如下：

T＝T₀+a*ln(T₁)+b；

T：補(bǔ)償后的工藝時(shí)間；

T₀：設(shè)定工藝時(shí)間；

T₁：基板溫度；

a和b：常數(shù)，根據(jù)收集的溫度與工藝時(shí)間數(shù)據(jù)計(jì)算出；

c)設(shè)備工作時(shí)將以補(bǔ)償后的工藝時(shí)間為實(shí)際工藝時(shí)間。

進(jìn)一步地，根據(jù)收集的溫度與工藝時(shí)間數(shù)據(jù)計(jì)算出a和b產(chǎn)生的方法(過(guò) 程)為：

假設(shè)基板溫度T₁＝X₁時(shí)，根據(jù)實(shí)際的反射率結(jié)果手動(dòng)調(diào)整工藝時(shí)間，當(dāng)反射 率達(dá)到要求時(shí)，得到實(shí)際工藝時(shí)間為Y₁，將X1和Y1帶入公式得到公式1：

Y₁＝T₀+a*X₁+b

按同樣方法可得到當(dāng)基板溫度為X₂時(shí)的實(shí)際工藝時(shí)間Y₂，帶入公式可得到 公式2：

Y₂＝T₀+a*X₂+b

公式1和公式2中只有a和b為未知數(shù)，因此可根據(jù)這兩個(gè)公式計(jì)算出a，b 值。

本發(fā)明的有益效果是：通過(guò)此發(fā)明可解決RIE工藝中反射率隨工藝溫度波 動(dòng)的缺陷，通過(guò)引入溫度補(bǔ)償，自動(dòng)調(diào)節(jié)工藝時(shí)間，提高RIE工藝穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明；

圖1是本發(fā)明所使用的設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1.氣體管路、2.噴淋頭，3.基板，4.熱電偶或紅外線(xiàn)溫度偵測(cè)儀， 5.控制系統(tǒng)，6.流量控制器。

具體實(shí)施方式

一種太陽(yáng)能電池RIE工藝溫度補(bǔ)償方法，具體步驟如下：

a)每次作業(yè)之前通過(guò)熱電偶或紅外線(xiàn)溫度偵測(cè)儀偵測(cè)基板溫度；

b)此溫度值將反饋至操作系統(tǒng)，系統(tǒng)根據(jù)溫度值計(jì)算出實(shí)際工藝時(shí)間，工 藝時(shí)間計(jì)算公式如下：

T＝T₀+a*ln(T₁)+b；

T：補(bǔ)償后的工藝時(shí)間；

T₀：設(shè)定工藝時(shí)間；

T₁：基板溫度；

a和b：常數(shù)，根據(jù)收集的溫度與工藝時(shí)間數(shù)據(jù)計(jì)算出；

c)設(shè)備工作時(shí)將以補(bǔ)償后的工藝時(shí)間為實(shí)際工藝時(shí)間。

d)進(jìn)一步地，根據(jù)收集的溫度與工藝時(shí)間數(shù)據(jù)計(jì)算出a和b產(chǎn)生的方法(過(guò) 程)為：