[發明專利]偏振光元件及其制造方法、投影儀、液晶裝置及電子設備

有效

• 申請號: 201110328963.0
• 申請日: 2011-10-24
• 公開（公告）號: CN102455456A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發明（設計）人: 熊井啟友
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30;G02B1/10;B32B9/04;B32B15/00;G02F1/1335;G03B21/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;王軼

1.一種偏振光元件，其特征在于，具有：

基板；

金屬層以及吸收材料層，該金屬層以及吸收材料層以俯視呈條紋狀的方式形成在上述基板上，且在上述基板的厚度方向層疊；

第一電介質層，該第一電介質層包括構成上述金屬層的金屬的氧化物，且形成于上述金屬層的表面；以及

第二電介質層，該第二電介質層包括形成上述吸收材料層的材料的氧化物，且形成于上述吸收材料層的表面。

2.根據權利要求1所述的偏振光元件，其特征在于，

在上述金屬層與上述吸收材料層之間形成有第三電介質層。

3.根據權利要求2所述的偏振光元件，其特征在于，

在包括上述金屬層與上述吸收材料層的層疊體的上層形成有第四電介質層。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的偏振光元件，其特征在于，

上述吸收材料層由選自包括硅、鍺、鉻的組群中的一種或兩種以上構成。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的偏振光元件，其特征在于，

上述金屬層由選自包括鋁、銀、銅、鉻、鈦、鎳、鎢、鐵的組群中的一種或兩種以上的金屬構成。

6.一種偏振光元件的制造方法，其特征在于，具有下述工序：

在基板的一面側形成金屬層以及吸收材料層的工序，該金屬層以及吸收材料層俯視呈條紋狀，且在上述基板的厚度方向層疊；以及

形成第一電介質層和第二電介質層的工序，在該工序中，通過在含氧的氛圍氣中使上述金屬層以及上述吸收材料層的表面氧化，而在上述金屬層的表面形成第一電介質層，并且在上述吸收材料層的表面形成第二電介質層。

7.根據權利要求6所述的偏振光元件的制造方法，其特征在于，

上述含氧的氛圍氣為臭氧氛圍氣。

8.根據權利要求6或7所述的偏振光元件的制造方法，其特征在于，

在形成上述第一以及第二電介質層的工序中，向上述基板照射紫外線。

9.一種投影儀，其特征在于，具備：

射出光的照明光學系統；調制上述光的液晶光閥；以及將利用上述液晶光閥調制后的光投射到被投射面的投射光學系統，

在上述液晶光閥與上述照明光學系統之間、以及上述液晶光閥與上述投射光學系統之間中的至少一方，設置權利要求1～5中任一項所述的偏振光元件。

10.一種液晶裝置，其特征在于，

該液晶裝置通過在一對基板之間夾持液晶層而成，且在至少一方的上述基板的上述液晶層側形成權利要求1～5中任一項所述的偏振光元件。

11.一種電子設備，其特征在于，

具備權利要求10所述的液晶裝置。