[發(fā)明專利]一種光瞳均勻性補(bǔ)償裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110327838.8
• 申請日: 2011-10-25
• 公開（公告）號: CN102331688A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘大春;張海波;邢廷文;林嫵媚;劉學(xué)峰;廖志杰;何毅;盧亮
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 梁愛榮

1.一種光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，其特征在于，包括側(cè)壁和多個(gè)補(bǔ)償單元，每個(gè)補(bǔ)償單元包括第一驅(qū)動器、第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)、第一遮光組件和第二遮光組件；其中：在側(cè)壁上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)軌槽；多個(gè)補(bǔ)償單元沿著側(cè)壁外側(cè)均勻分布，且第一遮光組件位于第一驅(qū)動器和第二遮光組件之間，第一遮光組件和第二遮光組件的另一端穿過導(dǎo)軌槽并伸入照明系統(tǒng)的照明光束外延中，補(bǔ)償單元中的第一遮光組件和第二遮光組件在第一驅(qū)動器和第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動下，沿著導(dǎo)軌槽方向即光軸方向獨(dú)立運(yùn)動，改變第一遮光組件和第二遮光組件與光瞳共軛面之間的距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，其特征在于，還包括上安裝基板、下安裝基板，所述第一驅(qū)動器固接于上安裝基板，所述第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)的一端與第一驅(qū)動器通過聯(lián)軸器方式連接；第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)的另一端以軸承連接方式連接于下安裝基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述第一遮光組件包括第二驅(qū)動器、第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)、第一遮光元件和第一基板，第一基板的一端固定連接于第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)上的螺母或運(yùn)動部件上，第一基板的另一端穿過導(dǎo)軌槽插入到側(cè)壁內(nèi)部；第二驅(qū)動器、第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)和第一遮光元件位于側(cè)壁內(nèi)部；第二驅(qū)動器固接在第一基板上；第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)一端與第二驅(qū)動器通過聯(lián)軸器方式連接，第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)另一端以軸承方式連接于第一基板上，第一遮光元件的一端固定連接第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)的螺母或運(yùn)動部件上，第一遮光元件另一端以導(dǎo)軌連接方式或滑動方式連接于第一基板，第一遮光元件在第二驅(qū)動器和第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動作用下沿照明光場徑向運(yùn)動調(diào)節(jié)第一遮光元件插入照明光束的深度，使得第一遮光元件能夠沿照明光場徑向伸入或抽出照明系統(tǒng)的照明光束外延。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，其特征在于：所述第二遮光組件包括第三驅(qū)動器、第三驅(qū)動機(jī)構(gòu)、第二遮光元件和第二基板，第二基板的一端固定連接于第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)上的螺母或運(yùn)動部件上，第二基板的另一端穿過導(dǎo)軌槽插入到側(cè)壁內(nèi)部；第三驅(qū)動器、第三驅(qū)動機(jī)構(gòu)和第二遮光元件位于側(cè)壁內(nèi)部；第三驅(qū)動器固接在第二基板上；第三驅(qū)動機(jī)構(gòu)一端與第三驅(qū)動器通過聯(lián)軸器方式連接，第三驅(qū)動機(jī)構(gòu)另一端以軸承方式連接于第二基板上，第二遮光元件的一端固定連接第三驅(qū)動機(jī)構(gòu)的螺母或運(yùn)動部件上，第二遮光元件另一端以導(dǎo)軌連接方式或滑動方式連接于第二基板，第二遮光元件在第三驅(qū)動器和第三驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動作用下沿照明光場徑向運(yùn)動調(diào)節(jié)第二遮光元件插入照明光束的深度，使得第二遮光元件能夠沿照明光場徑向伸入或抽出照明系統(tǒng)的照明光束外延。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述的補(bǔ)償單元包含2個(gè)或2個(gè)以上遮光組件。

6.根據(jù)權(quán)利要求3和4所述的光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述的第一遮光元件在第二驅(qū)動器和第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動作用下沿照明光場徑向運(yùn)動調(diào)節(jié)插入照明光場的深度；所述的第二遮光元件在第三驅(qū)動器和第三驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動作用下沿照明光場徑向運(yùn)動調(diào)節(jié)插入照明光場的深度，所述調(diào)節(jié)第一遮光元件和第二遮光元件的插入深度及第一遮光組件和第二遮光組件與照明系統(tǒng)光瞳共軛面距離來改變照明光瞳處的光強(qiáng)分布，實(shí)現(xiàn)對照明系統(tǒng)光瞳不均勻性的有效補(bǔ)償。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述第一遮光元件設(shè)置為不透光的桿狀結(jié)構(gòu)，第一遮光元件對插入照明光束的所有區(qū)域都有局部遮擋效應(yīng)，所述第二遮光元件設(shè)置為具有部分區(qū)域透光和部分區(qū)域不透光的桿狀結(jié)構(gòu)，第二遮光元件插入照明光束時(shí)，只有不透明區(qū)域?qū)φ彰鞴馐芯植空趽跣?yīng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述第一遮光元件的結(jié)構(gòu)為針狀立體結(jié)構(gòu)或三角形立體結(jié)構(gòu)，所述第二遮光元件的結(jié)構(gòu)為針狀立體結(jié)構(gòu)或三角形立體結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8所述的光瞳均勻性補(bǔ)償裝置，還能沿光軸方向設(shè)置一個(gè)轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，使得光瞳均勻性補(bǔ)償裝置繞光軸旋轉(zhuǎn)，補(bǔ)償由于有限個(gè)遮光組件而導(dǎo)致的位置離散效應(yīng)。