[發(fā)明專利]一種應(yīng)用于平板PECVD設(shè)備的石英管及其安裝方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110327095.4
• 申請(qǐng)日: 2011-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN103074594A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王競(jìng)爭(zhēng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浚鑫科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長(zhǎng)明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于太陽能電池片生產(chǎn)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種應(yīng)用于PECVD設(shè)備的石英管及其安裝方法。

背景技術(shù)

平板等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PEVCD，Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition)是硅太陽電池PEVCD工藝的主要方法之一，在平板PECVD的過程中，是采用同軸的石英管系統(tǒng)來激發(fā)等離子體，通過一個(gè)內(nèi)置同軸石英管與微波發(fā)射器相接后可在石英管上進(jìn)行表面波放電，從而可以激發(fā)出高均勻的微波等離子體，或稱之為大區(qū)域的線性微波等離子體，同軸的石英管也稱為微波源石英管。

但是在平板PECVD中，由于微波源石英管長(zhǎng)時(shí)間處于400℃的高溫和高功率放電的環(huán)境，石英管容易破裂，其密封圈容易燒焦變形，導(dǎo)致的沉積腔體內(nèi)壓強(qiáng)減小，出現(xiàn)腔體漏氣，造成色差片，從而影響電池片的效率和合格率。因此為了解決漏氣問題，必須打開腔體，更換石英管，然而更換石英管需要其從400℃降至常溫才能進(jìn)行更換；而且在高溫工作下，石英管表面會(huì)沉積氮化硅Si₃N₄，Si₃N₄硬度大導(dǎo)致更換時(shí)石英管容易崩裂，因此會(huì)將其敲碎，以便于拆卸，但是敲碎后容易產(chǎn)生Si₃N₄廢渣和石英碎屑，會(huì)堵塞特氣孔，對(duì)打掃增加了困難。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種應(yīng)用于平板PECVD設(shè)備的石英管的安裝方法，包括：在石英玻璃管外纏繞一層耐高溫膠帶；將銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)軸設(shè)置于所述石英玻璃管腔體內(nèi)；在所述石英玻璃管的兩端分別按次序裝配零件；所述零件依次包括卡口鎖定式機(jī)械裝置、鋁制環(huán)型止推軸、聚四氟乙烯環(huán)、第一聚氯丁橡膠密封圈、聚四氟乙烯環(huán)型止推軸、第二聚氯丁橡膠密封圈以及聚四氟乙烯托盤；使得所述石英管玻璃管兩端的零件對(duì)稱設(shè)置；所述銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)軸穿在石英玻璃管兩端的聚四氟乙烯托盤的中間小孔上；使用酒精擦洗所述石英玻璃管；將裝配好零件的石英玻璃管的兩端分別推進(jìn)與其兩端裝配零件相匹配的鋁帽中。

從以上技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明實(shí)施例提供的一種應(yīng)用于平板PECVD設(shè)備的石英管及其安裝方法，在組裝石英管前在石英玻璃管外纏繞一層耐高溫膠帶，使得石英管受熱膨脹均勻化；且在拆卸石英管的時(shí)候其膠帶的纏繞使得Si₃N₄廢渣和石英碎屑容易處理，拆卸更為方便。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種應(yīng)用于平板PECVD設(shè)備的石英管的安裝方法流程示意圖；

圖2為圖1所提供的方法中石英玻璃管的纏繞高溫膠帶的示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種應(yīng)用于平板PECVD設(shè)備的石英管的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種應(yīng)用于平板PECVD設(shè)備的石英管及其安裝方法，請(qǐng)參考圖1，為安裝方法的流程示意圖，其步驟包括：

S101、在石英玻璃管外纏繞一層耐高溫膠帶；

需要說明的是，耐高溫膠帶包括高聚酰亞胺膜或其他的耐高溫膠帶，主要是使得石英管受熱膨脹均勻化；其纏繞方式可以采取螺旋纏繞或其他纏繞方法，如圖2所示；

S102、將銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)軸設(shè)置于石英玻璃管腔體內(nèi)；

S103、在石英玻璃管的兩端分別按次序裝配零件；零件依次包括卡口鎖定式機(jī)械裝置、鋁制環(huán)型止推軸、聚四氟乙烯環(huán)、第一聚氯丁橡膠密封圈、聚四氟乙烯環(huán)型止推軸、第二聚氯丁橡膠密封圈以及聚四氟乙烯托盤；使得石英管玻璃管兩端的零件對(duì)稱設(shè)置；

步驟S102與步驟S103可具體為：將銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)軸設(shè)置于石英玻璃管腔體內(nèi)，并在石英玻璃管兩端按次序地裝配零件，需要說明的是，兩端裝配的零件是對(duì)稱設(shè)置的，由里到外裝配的零件依次是卡口鎖定式機(jī)械裝置、鋁制環(huán)型止推軸、聚四氟乙烯環(huán)、第一聚氯丁橡膠密封圈、聚四氟乙烯環(huán)型止推軸、第二聚氯丁橡膠密封圈以及聚四氟乙烯托盤。

其中，卡口鎖定式機(jī)械裝置是用于快速釋放裝置，將力傳到至密封套件；鋁制環(huán)型止推軸是用于保持卡口鎖定裝置向密封套件傳送的力比較均衡一致；聚四氟乙烯環(huán)和聚四氟乙烯環(huán)型止推軸都是用于當(dāng)卡口鎖定裝置旋轉(zhuǎn)時(shí)防止扭矩力傳送到石英管上引起扭曲；第一聚氯丁橡膠密封圈和第二聚氯丁橡膠密封圈都是用于密封，呈O型設(shè)置；

S104、銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)軸穿在石英玻璃管兩端的聚四氟乙烯托盤的中間小孔上；

聚四氟乙烯托盤是為了把銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)軸定位于其中心位置，其中聚四氟乙烯托盤的厚度以可以根據(jù)不同長(zhǎng)度的玻璃石英管而設(shè)定；