[發(fā)明專利]高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110326199.3
• 申請日: 2011-10-24
• 公開（公告）號: CN102608364A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃鄭隆
• 申請（專利權(quán)）人: 勵威電子股份有限公司
• 主分類號: G01R1/06
• 分類號: G01R1/06
• 代理公司: 北京市浩天知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 11276
• 代理人: 劉云貴

1.一種高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)的各探針包括：

至少一導(dǎo)體層，具有：

第一接觸件及第二接觸件，作為壓縮時用來與外部構(gòu)件電性接觸的接觸點；以及

探針身部，由至少一板片以及至少一彈性體相互連接成型，所述板片用以支撐所述彈性體承受垂直方向壓縮時的可變性；以及

至少一絕緣層，具有至少一板片，所述板片相對應(yīng)于所述導(dǎo)體層的板片，用以與所述導(dǎo)體層做結(jié)合。

2.如權(quán)利要求1所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述各探針是以微影深蝕刻模造技術(shù)分別以電鑄方式成型或以微機電制程制作多層微探針成型。

3.如權(quán)利要求1所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)體層是由導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖鸬葘?dǎo)電材料所制成。

4.如權(quán)利要求1所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絕緣層是由電氣絕緣性材料等非導(dǎo)電性材料所制成。

5.如權(quán)利要求1所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)體層的所述探針身部的所述彈性體是可彎曲型體。

6.如權(quán)利要求1所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)體層的所述探針身部的所述彈性體具有至少一作用力限制突出物。

7.如權(quán)利要求1所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)體層的所述探針身部的所述板片具有補強所述彈性體的作用。

8.如權(quán)利要求1所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述各探針的所述導(dǎo)體層與所述絕緣層是相互間隔而成。

9.如權(quán)利要求1、2或7所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述各探針可由多個相間隔的所述導(dǎo)體層與所述絕緣層呈現(xiàn)多層式增層堆棧成型。

10.如權(quán)利要求8所述的高頻垂直式彈片探針卡結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)體層的所述第一接觸件或所述第二接觸件可有多個第一接觸件或多個第二接觸件接觸于同一錫球上。