[發(fā)明專利]一種用于構(gòu)建層疊結(jié)構(gòu)式低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊

有效

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• 申請日: 2011-10-24
• 公開（公告）號: CN102502514A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅璐;班宏偉;李翊
• 申請（專利權(quán)）人: 羅璐;班宏偉
• 主分類號: C01B13/11
• 分類號: C01B13/11
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 羅文群

1.一種用于構(gòu)建層疊結(jié)構(gòu)式低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于該單元模塊包括上地電極、下地電極、圍框、支撐介質(zhì)絲、介質(zhì)板、上高壓電極板、下高壓電極板、高壓引線和高壓端子；所述的上地電極和下地電極中各設(shè)有水冷通道，上地電極和下地電極的兩平面部分別帶有凸臺，在上地電極和下地電極的兩側(cè)分別形成工作表面；所述的圍框通過上地電極和下地電極兩端部的凸臺固定在上地電極和下地電極之間，圍框呈環(huán)狀，被相鄰地電極的凸臺固定后包圍形成封閉腔體，圍框的兩端分別設(shè)有進氣道和出氣道；所述的介質(zhì)板的一側(cè)為工作面，該工作面通過支撐介質(zhì)絲緊貼在地電極的工作面上，介質(zhì)板一側(cè)的工作面與地電極的工作面之間形成工作氣隙；所述的上高壓電極和下高壓電極板分別緊貼在相應(yīng)的介質(zhì)板上；支撐介質(zhì)絲、介質(zhì)板和上、下高壓電極組成上、下兩個高壓組件，上、下兩個高壓組件置于由上、下地電極和圍框形成的封閉腔體中，封閉腔體中充滿彈性介質(zhì)充填物，彈性介質(zhì)充填物將兩個高壓組件壓緊在相應(yīng)的上、下地電極的工作表面上；所述的高壓端子固定在圍框上，所述的高壓引線的一端與上、下高壓電極固定，另一端與高壓端子連接。

2.一種用于構(gòu)建層疊結(jié)構(gòu)式低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于該單元模塊包括上地電極、下地電極、圍框、支撐介質(zhì)絲、介質(zhì)板、上高壓電極板、下高壓電極板、高壓引線和高壓端子；所述的上地電極和下地電極中各設(shè)有水冷通道，上地電極和下地電極的兩平面部分別帶有凸臺，在上地電極和下地電極的兩側(cè)分別形成工作表面；所述的圍框通過上地電極和下地電極兩端部的凸臺固定在上地電極和下地電極之間，圍框呈環(huán)狀，被相鄰地電極的凸臺固定后包圍形成封閉腔體，圍框的兩端分別設(shè)有進氣道和出氣道；所述的介質(zhì)板的一側(cè)為工作面，該工作面通過支撐介質(zhì)絲緊貼在地電極的工作面上，介質(zhì)板一側(cè)的工作面與地電極的工作面之間形成工作氣隙；所述的上高壓電極和下高壓電極板分別緊貼在相應(yīng)的介質(zhì)板上；支撐介質(zhì)絲、介質(zhì)板和上、下高壓電極組成上、下兩個高壓組件，上、下兩個高壓組件置于由上、下地電極和圍框形成的封閉腔體中，封閉腔體中的兩端充滿彈性介質(zhì)充填物；所述的上高壓電極板和下高壓電極板之間設(shè)有波形金屬彈性薄板；所述的高壓端子固定在圍框上，所述的高壓引線的一端與上、下高壓電極固定，另一端與高壓端子連接。

3.一種用于構(gòu)建層疊結(jié)構(gòu)式低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于該單元模塊包括上地電極、下地電極、圍框、支撐介質(zhì)絲、介質(zhì)板、上高壓電極板、下高壓電極板、高壓引線和高壓端子；所述的上地電極和下地電極中各設(shè)有水冷通道，上地電極和下地電極的兩平面部分別帶有凸臺，在上地電極和下地電極的兩側(cè)分別形成工作表面；所述的圍框通過上地電極和下地電極兩端部的凸臺固定在上地電極和下地電極之間，圍框呈環(huán)狀，被相鄰地電極的凸臺固定后包圍形成封閉腔體，圍框的兩端分別設(shè)有進氣道和出氣道；所述的介質(zhì)板的一側(cè)為工作面，該工作面通過支撐介質(zhì)絲緊貼在地電極的工作面上，介質(zhì)板一側(cè)的工作面與地電極的工作面之間形成工作氣隙；所述的上高壓電極和下高壓電極板分別緊貼在相應(yīng)的介質(zhì)板上；支撐介質(zhì)絲、介質(zhì)板和上、下高壓電極組成上、下兩個高壓組件，上、下兩個高壓組件置于由上、下地電極和圍框形成的封閉腔體中，封閉腔體中的兩端充滿彈性介質(zhì)充填物；所述的上高壓電極板和下高壓電極板的表面設(shè)有同極性的釹鐵硼恒磁涂層；所述的高壓端子固定在圍框上，所述的高壓引線的一端與上、下高壓電極固定，另一端與高壓端子連接。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于上、下地電極與圍框相接觸的表面涂有氟橡膠、硅橡膠或膨體四氟乙烯。

5.如權(quán)利要求1、2或3所述的低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于地電極的工作面為金屬或金屬陶瓷膜，或貼覆不銹鋼超薄板。

6.如權(quán)利要求1、2或3所述的低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于其中所述的彈性介質(zhì)充填物由蜂窩結(jié)構(gòu)耐臭氧高分子彈性材料制成。

7.如權(quán)利要求6所述的低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于其中所述的蜂窩結(jié)構(gòu)耐臭氧高分子彈性材料為硅橡膠、氟橡膠或膨化四氟乙烯。

8.如權(quán)利要求1、2或3所述的低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于介質(zhì)板為高鋁陶瓷板或超薄玻璃板。

9.如權(quán)利要求1、2或3所述的低溫等離子反應(yīng)體的單元模塊，其特征在于所述的高壓電極的表面，涂覆有耐臭氧和耐爬電涂層或粘貼有超薄玻璃板。