[發明專利]化學氣相沉積爐

無效

• 申請號: 201110324989.8
• 申請日: 2011-10-24
• 公開（公告）號: CN102839361A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 季歷程
• 申請（專利權）人: 南通天華和睿科技創業有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/458;C23C16/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及化學氣相沉積技術的技術領域，特別提供了一種化學氣相沉積爐。

背景技術

現有技術中,氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣口、出氣口、模具等幾部分，進氣口在爐體底部或頂部，出氣口通常與之相對，為使氣相沉積均勻，進氣口常采用同心圓筒的方式，模具對準進氣口，且有齒輪使每一只吊掛的產品都進行自轉。然而，當制作大尺寸的熱解氮化硼制品時，容易導致鍋底較厚，而側壁較薄，同時由于原料氣體在空間分布的不均勻，導致壁厚分布不均勻的現象時有發生。當同時制作多個熱解氮化硼制品時，也容易導致導致壁厚分布不均勻。

人們期望獲得一種技術效果優良的化學氣相沉積爐。

發明內容

本發明的目的在于提供一種技術效果優良的化學氣相沉積爐。

本發明具體提供了一種氣相沉積爐，化學氣相沉積爐，其由下述幾部分構成：爐體1、進氣口2、出氣口3、模具4、旋轉機構5以及發熱體6；其中：發熱體6、進氣口2、出氣口3都布置在爐體1上，進氣口2設置在爐體1的上部，旋轉機構5由轉盤5.1、齒輪5.2、連接軸5.3、傘齒輪組5.4、齒套5.5以及電機5.6組成，發熱體6由感應線圈6.1、加熱體6.2以及石墨套筒6.3組成；電機5.6通過傘齒輪組5.4與轉盤5.1相連，齒輪5.2共有5個且皆通過連接軸5.3固定在轉盤5.1上，且每個齒輪5.2上都設置有一個模具4，模具隨著齒輪5.2的動作實現模具4在爐體1內的公轉與自轉；其特征在于：所述旋轉機構5設置在爐體1內的上端；進氣口為三同心圓進氣口。

爐體1具體為雙壁水冷爐體。

該氣相沉積爐的進氣口為三同心圓進氣口，在爐體1內或爐體1外設有旋轉機構5，可以有多只產品模具4在爐體1內同時進行公轉、自轉。采用該氣相沉積爐制備熱解氮化硼（PBN）制品，能夠提高PBN產品質量及其生產效率，降低生產成本采用三同心圓進氣可以使原料氣體混合的更加均勻，致使氣體不發生明顯的偏析，使得大坩堝與一爐多只的小坩堝顏色均勻。三同心圓進氣口對于生產大尺寸產品的效果比同心圓進氣口更好。

采用本發明提供的氣相沉積爐制備而得的產品，尺寸一致、顏色歸一、規格相同，在提高產品合格率的同時，也大大提高了其生產效率。

附圖說明

圖1為一爐五只氣相沉積爐結構圖。

具體實施方式

實施例1

如圖1所示，一種氣相沉積爐，化學氣相沉積爐，其由下述幾部分構成：爐體1、進氣口2、出氣口3、模具4、旋轉機構5以及發熱體6；其中：發熱體6、進氣口2、出氣口3都布置在爐體1上，進氣口2設置在爐體1的上部，旋轉機構5由轉盤5.1、齒輪5.2、連接軸5.3、傘齒輪組5.4、齒套5.5以及電機5.6組成，發熱體6由感應線圈6.1、加熱體6.2以及石墨套筒6.3組成；電機5.6通過傘齒輪組5.4與轉盤5.1相連，齒輪5.2共有5個且皆通過連接軸5.3固定在轉盤5.1上，且每個齒輪5.2上都設置有一個模具4，模具隨著齒輪5.2的動作實現模具4在爐體1內的公轉與自轉；所述旋轉機構5設置在爐體1內的上端；進氣口為三同心圓進氣口。

爐體1具體為雙壁水冷爐體。