[發明專利]用于薄膜太陽能電池的元素摻雜方法及薄膜太陽能電池

有效

• 申請號: 201110322862.2
• 申請日: 2011-10-21
• 公開（公告）號: CN103065949A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 梅芳;趙軍
• 申請（專利權）人: 上方能源技術（杭州）有限公司
• 主分類號: H01L21/225
• 分類號: H01L21/225;H01L31/04
• 代理公司: 湖州金衛知識產權代理事務所(普通合伙) 33232
• 代理人: 趙衛康

1.?用于薄膜太陽能電池的元素摻雜方法，其特征在于：在待摻雜的膜層表面放置含摻雜元素的粉末，使所述待摻雜的膜層的溫度達到150～300℃并保持1～30min，然后移除剩余在所述待摻雜的膜層表面的所述粉末。

2.?根據權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池的元素摻雜方法，其特征在于：所述元素為銅，所述粉末為含銅的無機鹽或有機鹽粉末或金屬銅粉。

3.?根據權利要求2所述的用于薄膜太陽能電池的元素摻雜方法，其特征在于：所述含銅的無機鹽或有機鹽粉末為CuCl、CuCl₂、CuSO₄、Cu(NO₃)₂、CuC₂O₄、Cu(C₆H₄NO₂)₂、Cu(CH₃COO)₂中的一種或兩種以上粉末的混合物。

4.?根據權利要求1-3任一項所述的用于薄膜太陽能電池的元素摻雜方法，其特征在于：所述移除方法包括吹除、吸除或清洗。

5.?根據權利要求4所述的用于薄膜太陽能電池的元素摻雜方法，其特征在于：所述待摻雜的膜層的溫度保持在180～240℃，時間為1～10min。

6.?如權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池的元素摻雜方法制備的薄膜太陽能電池，包括玻璃基板、透明導電氧化物層、窗口層、吸光層和背電極層，其特征在于：所述吸光層表面和內部被摻雜所述元素。

7.?根據權利要求6所述的薄膜太陽能電池，其特征在于：所述元素為銅，所述粉末為含銅的無機鹽或有機鹽粉末或金屬銅粉末。

8.?根據權利要求7所述的薄膜太陽能電池，其特征在于：所述含銅的無機鹽或有機鹽粉末為CuCl、CuCl₂、CuSO₄、Cu(NO₃)₂、CuC₂O₄、Cu(C₆H₄NO₂)₂、Cu(CH₃COO)₂中的一種或兩種以上粉末的混合物。

9.?根據權利要求6-8任一項所述的薄膜太陽能電池，其特征在于：所述透明半導體氧化物層為FTO、AZO、ITO或CTO。

10.?根據權利要求6-8任一項所述的薄膜太陽能電池，其特征在于：所述窗口層和所述吸光層為ZnO、ZnS、ZnSe、?ZnTe、CdO、CdS、CdSe、CdTe、CIGS、MgO、MgS、MgSe、MgTe、HgO、HgS、?HgSe、HgTe、MnO、MnS、MnTe、InSb、TiN、TiP、TiAs或TiSb?中的一種或兩種組成的一層或兩層以上結構。

11.?根據權利要求6-8任一項所述的薄膜太陽能電池，其特征在于：所述背電極層是Au、Ag、Cu、Al、Cr、Ni、V、Mo、石墨以及它們的氧化物、氮化物、碳化物中的一種或兩種以上組成的一層或兩層以上結構。

12.?根據權利要求8所述的薄膜太陽能電池，其特征在于：所述透明半導體氧化物層為FTO，所述窗口層為CdS，所述吸光層為CdTe，所述背電極層為MoO_x、Al和Cr組成的三層結構。