[發明專利]激光掃描裝置

有效

• 申請號: 201110322633.0
• 申請日: 2011-10-21
• 公開（公告）號: CN102547048A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 林于中;李閔凱;劉松河
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: H04N1/04
• 分類號: H04N1/04;H04N1/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種激光掃描裝置，包括：

激光輸出單元，輸出一激光光束；

掃描器，包括一掃描聚焦單元，該掃描聚焦單元使該激光光束聚焦且掃描一物件，該掃描器通過該掃描聚焦單元接收并輸出照射于該物件的一可見光光束；

分光單元，使該激光光束穿透且反射該掃描器所輸出的該可見光光束；

成像補償單元，接收來自該分光單元所反射的該可見光光束，該可見光光束經該成像補償單元后聚焦成像，該成像補償單元補償該可見光光束經過該掃描聚焦單元所形成的一像差；

檢測單元，接收經過該成像補償單元的該可見光光束而輸出一檢測信號；以及

控制單元，接收該檢測信號，且依據該可見光光束的波長、該掃描聚焦單元與該成像補償單元調整該檢測信號。

2.如權利要求1所述的激光掃描裝置，其中，該激光光束的波長為一百納米(nanometer，nm)至一百微米(micrometer，um)。

3.如權利要求1所述的激光掃描裝置，其中，該掃描聚焦單元包括至少一掃描元件與至少一透鏡。

4.如權利要求1所述的激光掃描裝置，其中，該成像補償單元包括至少一正透鏡組。

5.如權利要求4所述的激光掃描裝置，其中，該正透鏡組滿足下列公式：

r₂-r₁＞r₁.r₂

其中，r₁為該正透鏡組的一第一曲率半徑，r₂為該正透鏡組的一第二曲率半徑。

6.如權利要求4所述的激光掃描裝置，該正透鏡組選自球面鏡(spherical?lens)、非球面鏡(aspheric?lens)、膠合透鏡(doublet?lens)及其組合的群組。

7.如權利要求4所述的激光掃描裝置，其中，該成像補償單元還包括至少一負透鏡組。

8.如權利要求7所述的激光掃描裝置，其中，該負透鏡組滿足下列公式：

r₃-r₄≤r₃.r₄

其中，r₃為該負透鏡組的一第三曲率半徑，r₄為該負透鏡組的一第四曲率半徑。

9.如權利要求7所述之激光掃描裝置，其中當該雷射掃描裝置使該物件的一影像離焦時，調整該檢測單元、該負透鏡組與該正透鏡組其中之一的配置位置以使該物件的該影像聚焦。

10.如權利要求7所述之激光掃描裝置，其中該負透鏡組與該正透鏡組之間具有一距離，該距離依據該物件的不同掃描位置進行調整。

11.如權利要求1所述的激光掃描裝置，其中，該物件配置于一工作平臺上，該激光掃描裝置掃描該工作平臺上的該物件。

12.如權利要求1所述的激光掃描裝置，其中，該掃描聚焦單元包括二掃描元件，每一該掃描元件具有一法線，該些法線相互正交。

13.如權利要求1所述的激光掃描裝置，其中，該檢測單元為一電荷耦合裝置。

14.如權利要求1所述的激光掃描裝置，其中，該控制單元依據該可見光光束的波長、該激光光束的波長、該掃描聚焦單元與該成像補償單元間的關系而輸出一模擬信號，該激光掃描裝置進行一實作程序而使該控制單元獲得一實作信號，該控制單元通過該模擬信號與該實作信號計算出一相對誤差而獲得一誤差信號，該控制單元依據該誤差信號調整該檢測信號。