[發明專利]化學氣相沉積爐用預熱裝置

無效

• 申請號: 201110321544.4
• 申請日: 2011-10-20
• 公開（公告）號: CN102330070A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發明（設計）人: 盧鋼認;王強;崔鵬
• 申請（專利權）人: 西安航空制動科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/26
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 慕安榮

1.一種化學氣相沉積爐用預熱裝置，包括爐體、料柱、進氣管和承料盤；料柱位于爐體內，置于承料臺的上表面；其特征在于，還包括基座、預熱筒和導氣管，并且所述的基座、預熱筒和導氣管均用石墨制成；基座和預熱筒均位于料柱內，并且基座置于承料臺的上表面中心處；預熱筒安放在基座底板的上表面，并套裝在位于基座上表面中心的預熱筒定位套筒上；預熱筒的內壁與所述預熱筒定位套筒的外表面之間間隙配合；導氣管裝入預熱筒內，并使所述導氣管的大直徑端位于基座的中心孔內；導氣管的外壁與預熱筒內壁之間的距離為30mm～60mm；當氣體流量在80升/分-120升/分時，導氣管的外壁與預熱筒內壁之間距離的優選范圍為55mm-60mm；當氣體流量在50升/分-80升/分時，導氣管的外壁與預熱筒內壁之間距離的優選范圍為35mm-40mm；導氣管的高度小于預熱筒的內腔高度10-20mm；進氣管的一端穿過承料臺的中心孔，裝入導氣管的內孔中；進氣管的另一端與氣源管道連接；基座的底部涂敷有膠結劑。

2.如權利要求1所述一種化學氣相沉積爐用預熱裝置，其特征在于，基座中心孔的孔徑與導氣管大直徑端的外徑相同；基座上表面中心的預熱筒定位套筒的外徑與預熱筒的內徑相同；在基座底板的上表面對稱地分布有2個徑向槽；在與所述徑向槽對應的預熱筒定位套筒的外圓周表面上亦有2個軸向槽；同側相對應的徑向槽和軸向槽連通，形成了預熱裝置的出氣口，出氣口的截面積為100～200mm²。

3.如權利要求1所述一種化學氣相沉積爐用預熱裝置，其特征在于，導氣管大直徑端的外徑與基座底板中心孔的孔徑相同；所述導氣管大直徑端的內孔孔徑大于進氣管的外徑10mm。

4.如權利要求1所述一種化學氣相沉積爐用預熱裝置，其特征在于，所述的膠結劑用酚醛樹脂和石墨粉混合而成，其份量比為：酚醛樹脂∶石墨粉＝1∶1～2。