[發(fā)明專利]鎳靶材組件的加工方法及加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110321309.7
• 申請日: 2011-10-20
• 公開（公告）號: CN102501045A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;袁錦澤
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B23P17/00
• 分類號: B23P17/00;B23P23/02
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種鎳靶材組件的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供一側(cè)設(shè)有多個(gè)水槽的背板、純度為99.99％的鎳靶材坯料；

將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起；

將所述鎳靶材組件固定在車床上對所述鎳靶材坯料進(jìn)行車削加工以得到鎳靶材；

將所述鎳靶材組件固定在磨床上對所述鎳靶材進(jìn)行磨削加工。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述車床的刀具采用立方氮化硼刀片。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加工方法，其特征在于，所述車削加工包括粗加工及粗加工之后的精加工。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述粗加工時(shí)，所述車床的主軸轉(zhuǎn)速為300r/min～500r/min。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述粗加工時(shí)，所述車床的進(jìn)給量為0.3mm～0.5mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述精加工時(shí)，所述車床的主軸轉(zhuǎn)速為250r/min～300r/min。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述精加工時(shí)，所述車床的進(jìn)給量為0.01mm～0.1mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述磨床的磨具采用立方氮化硼砂輪。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加工方法，其特征在于，所述立方氮化硼砂輪的粒度為180目。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的轉(zhuǎn)速為2800r/min～3200r/min。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的進(jìn)給速度為450mm/min～550mm/min。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的進(jìn)給量為0.005mm～0.02mm。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的加工方法，其特征在于，所述立方氮化硼砂輪的轉(zhuǎn)速為3000r/min。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起之前，還包括對所述鎳靶材坯料、背板進(jìn)行清洗的步驟。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述車削加工步驟之后、所述磨削加工步驟之前，還包括對所述鎳靶材、背板進(jìn)行清洗的步驟。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起的步驟中，所述鎳靶材坯料與所述背板通過釬焊連接在一起。

17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，利用乳化液對所述立方氮化硅砂輪、鎳靶材組件進(jìn)行冷卻。

18.一種鎳靶材組件的加工裝置，其特征在于，所述鎳靶材組件包括連接在一起的背板、純度為99.99％的鎳靶材坯料，所述加工裝置包括：

車床，其刀具采用立方氮化硼刀片；

磨床，其磨具采用立方氮化硼砂輪。