[發(fā)明專利]一種具有低揮發(fā)性的太陽(yáng)電池單晶硅制絨液及應(yīng)用有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110321054.4 | 申請(qǐng)日: | 2011-10-20 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102315113A | 公開(kāi)(公告)日: | 2012-01-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張楷亮;徐娟;袁育杰;王芳;吳小國(guó) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 天津理工大學(xué) |
| 主分類號(hào): | H01L21/306 | 分類號(hào): | H01L21/306;H01L31/18 |
| 代理公司: | 天津佳盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12002 | 代理人: | 侯力 |
| 地址: | 300384 天津市南*** | 國(guó)省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 具有 揮發(fā)性 太陽(yáng)電池 單晶硅 制絨液 應(yīng)用 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及單晶硅太陽(yáng)能電池的制備技術(shù),特別是一種具有低揮發(fā)性的太陽(yáng)電池單晶硅制絨液及應(yīng)用。
背景技術(shù)
隨著太陽(yáng)能電池應(yīng)用的不斷普及,其生產(chǎn)工藝日益受到廣泛關(guān)注。單晶硅太陽(yáng)能電池可靠性高、壽命長(zhǎng),是光伏電池的主流產(chǎn)品。在單晶硅襯底表面制絨可以降低太陽(yáng)能電池的表面反射率,增加太陽(yáng)能電池的光吸收率,從而提高其光電轉(zhuǎn)換效率,是單晶硅太陽(yáng)能電池的主要研究方向之一。單晶硅片在一定濃度范圍的堿溶液中被腐蝕時(shí)是各向異性的,不同晶向上的腐蝕速率不一樣,將特定晶向的單晶硅片放入堿溶液中腐蝕,即可在硅片表面產(chǎn)生出許多細(xì)小的金字塔狀外觀,從而形成陷光結(jié)構(gòu),這一過(guò)程稱為單晶硅制絨。
公開(kāi)號(hào)為?CN?101982570A?的“單晶硅太陽(yáng)能電池片制絨液?”,由碳酸鈉、碳酸氫鈉和純水制備而成,各原料的質(zhì)量百分比為:碳酸鈉5%到20%、碳酸氫鈉5%到20%及純水余量。
公開(kāi)號(hào)為?CN?101431123A?的“單晶硅太陽(yáng)電池的制絨方法”中,首先在制絨槽內(nèi)配制制絨水溶液,其中氫氧化鈉的質(zhì)量百分比為1%到2%,偏鋁酸鹽的質(zhì)量百分比為0.3%到0.5%,硅酸鈉的質(zhì)量百分比為0.3%到0.5%,化學(xué)純異丙醇的質(zhì)量百分比為5%到6%。
公開(kāi)號(hào)為CN?101323955A?的“單晶硅太陽(yáng)能電池表面處理用的制絨劑及其制造方法”中,配方為:氫氧化鈉或氫氧化鉀1.5%到10%,表面活性劑1到20OPPm,硅酸鈉0.5%到5%,去離子水85.0%到98.0%。本發(fā)明運(yùn)用獨(dú)特的配方科學(xué)配制制絨劑,采用聚氧乙烯醚系列表面活性劑,降低制絨劑的表面張力,實(shí)現(xiàn)緩釋型均勻氣泡釋放技術(shù),保證制絨后所有角錐體邊長(zhǎng)減小,平面內(nèi)分布相當(dāng)均勻。
傳統(tǒng)的制絨液采用氫氧化鈉或是氫氧化鉀堿溶液與異丙醇(IPA)混合溶液,在60-90攝氏度溫度下,與單晶硅片反應(yīng)25-30分鐘,以達(dá)到制絨的目的。但是由于異丙醇的揮發(fā)性強(qiáng),而且溫度越高越易揮發(fā),在生產(chǎn)中會(huì)產(chǎn)生大量消耗,而且造成環(huán)境污染及人體危害。目前,也有使用其他試劑代替異丙醇,但并不是適合在工業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)用。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的針對(duì)上述存在問(wèn)題,提供一種具有低揮發(fā)性的太陽(yáng)電池單晶硅制絨液及應(yīng)用,該制絨液用于太陽(yáng)電池單晶硅片的制絨,增溶作用明顯,可有效降低異丙醇的揮發(fā)性,減少制絨過(guò)程中異丙醇的使用量,并且同時(shí)進(jìn)一步降低了溶液的表面張力,提高制絨速度。
本發(fā)明的技術(shù)方案:?
一種具有低揮發(fā)性的太陽(yáng)電池單晶硅制絨液,由氫氧化鈉或氫氧化鉀、十六烷基三甲基溴化銨(CTMAB)、硅酸鈉、異丙醇和水混合組成。
所述制絨液中氫氧化鈉或氫氧化鉀的質(zhì)量百分比濃度為1-3%、十六烷基三甲基溴化銨的質(zhì)量百分比濃度大于0.5%;硅酸鈉與氫氧化鈉或氫氧化鉀的質(zhì)量比為1:3、異丙醇與氫氧化鈉或氫氧化鉀的質(zhì)量比為1:6-7;水為余量。
一種所述具有低揮發(fā)性的單晶硅太陽(yáng)電池的制絨液的應(yīng)用,用于太陽(yáng)電池單晶硅片的制絨,步驟如下:
1)首先對(duì)單晶硅片實(shí)施去損傷處理,方法是將單晶硅片放入質(zhì)量百分比濃度為25%的NaOH堿溶液中,在85℃溫度下浸泡1-2分鐘;
2)將上述處理后的單晶硅片放入制絨液中,在水浴加熱溫度為75-85℃條件下進(jìn)行制絨,制絨時(shí)間為15到25min分鐘;
3)取出單晶硅片,用去離子水清洗后晾干即可。
本發(fā)明的技術(shù)分析:
堿性溶液中單晶硅會(huì)發(fā)生如下腐蝕反應(yīng):
總的反應(yīng)方程式為:?
硅酸鈉的水溶液具有較強(qiáng)的堿性,而且在水中會(huì)發(fā)生水解反應(yīng)產(chǎn)生大量極性和非極性基團(tuán),降低溶液表面的張力。
異丙醇(IPA)的作用是有效降低溶液表面張力,增加硅片侵潤(rùn)性并幫助反應(yīng)產(chǎn)物氫氣泡脫附。
研究表明:異丙醇為揮發(fā)性化合物(VOCs),其與典型陽(yáng)離子表面活性劑十六烷基三甲基溴化銨(CTMAB)溶液間存在汽液平衡關(guān)系。CTMAB可以降低其表面亨利系數(shù),抑制揮發(fā)性。CTMAB對(duì)揮發(fā)有機(jī)物增溶作用的強(qiáng)弱可用摩爾增溶比(MSR)表示:
其中,為揮發(fā)有機(jī)物在CTMAB?中的表觀溶解度,為揮發(fā)有機(jī)物在水中溶解度,為CTMAB濃度,CMC為CTMAB?臨界膠束濃度。
表現(xiàn)亨利系數(shù)與表面活性劑濃度的關(guān)系式為:
式中,?Cg?為異丙醇?xì)庀酀舛??K?為表面活性劑與溶劑間線性分配系數(shù),?X為表面活性劑濃度。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





