[發(fā)明專利]一種弱電子束的測試裝置及方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110320859.7
• 申請日: 2011-10-20
• 公開（公告）號: CN102426173A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳益峰;李存惠;柳青;湯道坦;秦曉剛;楊生勝;鄭闊海;史亮;孔風(fēng)連;馮展祖
• 申請（專利權(quán)）人: 中國航天科技集團(tuán)公司第五研究院第五一〇研究所
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專利中心 11120
• 代理人: 楊志兵;李愛英

1.一種弱電子束的測試裝置，其特征在于：所述裝置包括：環(huán)形抑制極(1)、錐形法拉第筒(2)、微電流計(jì)(3)、直流穩(wěn)壓電源(4)、絕緣墊(5)、電子槍(8)、真空系統(tǒng)(9)和法拉第筒支撐裝置(10)；

其中真空系統(tǒng)(9)包括真空室和真空泵；法拉第筒支撐裝置(10)將錐形法拉第筒(2)固定在真空室內(nèi)部，電子槍(8)位于真空室內(nèi)部側(cè)壁上，電子槍(8)的發(fā)射端與錐形法拉第筒(2)的底端入口正對，在錐形法拉第筒(2)入口處設(shè)有環(huán)形抑制極(1)，在環(huán)形抑制極(1)和錐形法拉第筒(2)入口之間設(shè)有絕緣墊(5)，錐形法拉第筒(2)的頂端通過導(dǎo)線與真空室外的微電流計(jì)(3)一端連接，微電流計(jì)(3)另一端接地；真空室外的直流穩(wěn)壓電源(4)一端與環(huán)形抑制極(1)連接，穩(wěn)壓電源的另一端穿過真空室接地；

其中，所述環(huán)形抑制極的材料為金屬。

2.一種弱電子束的測試方法，采用如權(quán)利要求1所述的一種弱電子束的測試裝置，其特征在于：所述方法具體步驟如下：

步驟一、開啟真空泵，當(dāng)真空室內(nèi)壓強(qiáng)≤9×10^-4Pa時，開電子槍(8)發(fā)射弱電子束(6)，弱電子束(6)能量為0.5～5keV；束流強(qiáng)度為pA量級；

步驟二、所述弱電子束(6)穿過環(huán)形抑制極(1)后，被錐形法拉第筒(2)收集，收集的電流值由微電流計(jì)(3)測試，用直流穩(wěn)壓電源(4)對環(huán)形抑制極(1)施加負(fù)偏壓，電壓變化范圍為0～500V，步進(jìn)幅度為10～100V，記錄微電流計(jì)的測試結(jié)果，當(dāng)弱電子束強(qiáng)度的測試值隨抑制極電壓增加的變化關(guān)系穩(wěn)定時，得到弱電子束強(qiáng)度的測試值。