[發明專利]用于處理含有四氯化硅的溶液的方法無效
| 申請號： | 201110320139.0 | 申請日： | 2011-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN102502654A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發明（設計）人： | 嚴大洲;湯傳斌;萬燁;肖榮暉;毋克力 | 申請（專利權）人： | 中國恩菲工程技術有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 處理 含有 氯化 溶液 方法 | ||
1.一種從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，包括以下步驟：
將所述含有四氯化硅的溶液供給到蒸發裝置中，以便將所述溶液中的四氯化硅轉變為四氯化硅蒸汽并得到廢液；
將所述四氯化硅蒸汽供給到除塵裝置，以便除去所述四氯化硅蒸汽中的粉塵，以獲得經過凈化的四氯化硅蒸汽；以及
將所述經過凈化的四氯化硅蒸汽供給到冷凝裝置，以便將所述經過凈化的四氯化硅蒸汽冷凝，以得到經過凈化的四氯化硅液體。
2.根據權利要求1所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，所述含有四氯化硅的溶液為制備多晶硅過程中產生的含有四氯化硅的殘液。
3.根據權利要求1所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，所述蒸發裝置內的溫度為70-90攝氏度，壓力為50-160kPa。
4.根據權利要求1所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，所述冷凝裝置中的溫度為30-40攝氏度。
5.根據權利要求1所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，進一步包括將所述廢液供給到固液分離裝置，以便對所述廢液進行固液分離以得到固相混合物和液相混合物。
6.根據權利要求5所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，進一步包括將所述固相混合物供給到干燥裝置，以便對所述固相混合物進行干燥以得到經過干燥的固相混合物。
7.根據權利要求6所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，進一步包括將所述經過干燥的固相混合物供給到存渣裝置。
8.根據權利要求6所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，進一步包括將所述液相混合物返回至所述蒸發裝置。
9.根據權利要求1所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，進一步包括將所述經過凈化的四氯化硅液體供給到四氯化硅存儲裝置。
10.根據權利要求1所述的從含有四氯化硅的溶液回收四氯化硅的方法，其特征在于，進一步包括將所述經過凈化的四氯化硅液體用于生產三氯氫硅。
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