[發(fā)明專利]一種互連線平均失效時(shí)間計(jì)算方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110319494.6
• 申請(qǐng)日: 2011-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN102508953A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬天宇;陳嵐;阮文彪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): G06F17/50
• 分類號(hào): G06F17/50
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長(zhǎng)明

1.一種互連線平均失效時(shí)間計(jì)算方法，其特征在于，包括：

確定目標(biāo)電路版圖中目標(biāo)互連線的實(shí)際區(qū)域橫截面的面積，所述實(shí)際區(qū)域?yàn)樗瞿繕?biāo)互連線原始區(qū)域中損失區(qū)域以外的區(qū)域；

獲取經(jīng)過所述目標(biāo)互連線的電流數(shù)據(jù)；

以所述電流數(shù)據(jù)除以所述實(shí)際區(qū)域橫截面的面積，得到所述目標(biāo)互連線的實(shí)際電流密度；

將所述目標(biāo)互連線的實(shí)際電流密度代入平均失效時(shí)間函數(shù)，獲得所述目標(biāo)互連線的平均失效時(shí)間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取經(jīng)過所述目標(biāo)互連線的電流數(shù)據(jù)，具體為：

確定所述目標(biāo)電路版圖對(duì)應(yīng)的電路網(wǎng)表信息；

將所述電路網(wǎng)表信息輸入電路仿真器，得到經(jīng)過所述目標(biāo)互連線的電流數(shù)據(jù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述平均失效時(shí)間函數(shù)為：

MTTF＝BJ^-ne^Ea/kT(1≤n≤2)

其中，J是實(shí)際電流密度，B是工藝因子，n為電流指數(shù)，Ea為活化能，k為波爾茲曼常數(shù)，T為溫度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定目標(biāo)電路版圖中目標(biāo)互連線的實(shí)際區(qū)域橫截面的面積，具體為：

確定目標(biāo)電路版圖中目標(biāo)互連線的損失區(qū)域數(shù)據(jù)信息，并計(jì)算得到所述損失區(qū)域橫截面的面積；

將目標(biāo)互連線的原始區(qū)域橫截面的面積減去所述損失區(qū)域橫截面的面積，得到實(shí)際區(qū)域橫截面的面積。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述確定目標(biāo)電路版圖中目標(biāo)互連線的損失區(qū)域數(shù)據(jù)信息，具體為：

將所述目標(biāo)電路版圖輸入CMP模擬器，得到所述目標(biāo)電路版圖中目標(biāo)互連線的損失區(qū)域數(shù)據(jù)信息。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述損失區(qū)域?yàn)榻饘俚螕p失區(qū)域和/或介質(zhì)氧化層侵蝕損失區(qū)域。

7.一種互連線平均失效時(shí)間計(jì)算系統(tǒng)，其特征在于，包括：

實(shí)際區(qū)域面積確定模塊，用于確定目標(biāo)電路版圖中目標(biāo)互連線的實(shí)際區(qū)域橫截面的面積，所述實(shí)際區(qū)域?yàn)樗瞿繕?biāo)互連線原始區(qū)域中損失區(qū)域以外的區(qū)域；

電流數(shù)據(jù)確定模塊，用于獲取經(jīng)過所述目標(biāo)互連線的電流數(shù)據(jù)；

實(shí)際電流密度確定模塊，用于以所述電流數(shù)據(jù)除以所述實(shí)際區(qū)域橫截面的面積，得到所述目標(biāo)互連線的實(shí)際電流密度；

失效時(shí)間確定模塊，用于將所述目標(biāo)互連線的實(shí)際電流密度代入平均失效時(shí)間函數(shù)，獲得所述目標(biāo)互連線的平均失效時(shí)間。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述電流數(shù)據(jù)確定模塊，包括：

電路信息確定單元，用于確定所述目標(biāo)電路版圖對(duì)應(yīng)的電路網(wǎng)表信息；

電流數(shù)據(jù)確定單元，用于將所述電路網(wǎng)表信息輸入電路仿真器，得到經(jīng)過所述目標(biāo)互連線的電流數(shù)據(jù)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述實(shí)際區(qū)域面積確定模塊包括：

損失區(qū)域面積確定單元，用于確定目標(biāo)電路版圖中目標(biāo)互連線的損失區(qū)域數(shù)據(jù)信息，并計(jì)算得到所述損失區(qū)域橫截面的面積；

實(shí)際區(qū)域面積確定單元，用于將目標(biāo)互連線的原始區(qū)域橫截面的面積減去所述損失區(qū)域橫截面的面積，得到實(shí)際區(qū)域橫截面的面積。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述損失區(qū)域面積確定單元的具體配置為：

將所述目標(biāo)電路版圖輸入CMP模擬器，得到所述目標(biāo)電路版圖中目標(biāo)互連線的損失區(qū)域數(shù)據(jù)信息。