[發明專利]基板涂膠系統及涂膠方法

無效

• 申請號: 201110319424.0
• 申請日: 2011-10-19
• 公開（公告）號: CN102367202A
• 公開（公告）日: 2012-03-07
• 發明（設計）人: 余超平;范繼良;劉惠森
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種基板涂膠系統，包括裝載機構、涂膠機構、干燥機構及傳輸機構，若干基板按層裝配于所述裝載機構上，所述涂膠機構設于所述裝載機構與所述干燥機構之間，所述裝載機構、涂膠機構及干燥機構依次排列形成一條生產線，其特征在于，所述生產線包括兩組所述涂膠機構及兩組干燥機構，所述涂膠機構包括依次排列的底膠涂覆機構和旋涂機構，所述底膠涂覆機構設于所述裝載機構與所述旋涂機構之間對基板進行涂覆底膠處理，所述旋涂機構設于所述底膠涂覆機構與所述干燥機構之間對經過涂覆底膠處理后的基板進行涂覆光刻膠處理，位于同一側的每一所述涂膠機構及干燥機構依次排列構成一條生產支線從而具有兩條生產支線，兩條所述生產支線對稱設置且兩條所述生產支線之間設有若干個所述傳輸機構，若干個所述傳輸機構均為機械手，所述機械手同時控制兩條所述生產支線工作。

2.如權利要求1所述的基板涂膠系統，其特征在于，還包括兩個靜電處理機構，所述裝載機構與每一所述涂膠機構之間均設有一個所述靜電處理機構，所述機械手包括第一機械手，所述第一機械手將所述裝載機構上的基板分別一一送往兩個所述靜電處理機構進行除靜電處理。

3.如權利要求2所述的基板涂膠系統，其特征在于，所述機械手還包括第二機械手，所述第二機械手分別將所述靜電處理機構、底膠涂覆機構和旋涂機構上的基板送往下一模塊。

4.如權利要求3所述的基板涂膠系統，其特征在于，還包括兩個邊膠處理機構，兩個所述邊膠處理機構分別設于兩個所述干燥機構后面，所述干燥機構對經過涂覆光刻膠處理后的基板進行干燥處理并送往所述邊膠處理機構進行去邊膠處理。

5.如權利要求4所述的基板涂膠系統，其特征在于，還包括兩個對位機構，每一所述對位機構設于所述干燥機構與所述邊膠處理機構之間，所述對位機構對經過干燥處理后的基板進行對位處理并送往所述邊膠處理機構。

6.如權利要求5所述的基板涂膠系統，其特征在于，所述機械手還包括第三機械手，所述第三機械手分別將所述干燥機構、對位機構和邊膠處理機構上的基板送往下一模塊。

7.如權利要求6所述的基板涂膠系統，其特征在于，還包括冷卻機構和若干加熱機構，所述機械手還包括第四機械手，所述第四機械手將經過去邊膠處理的基板送至所述若干加熱機構進行加熱處理，并將經過加熱處理的基板送往所述冷卻機構進行冷卻處理。

8.如權利要求7所述的基板涂膠系統，其特征在于，還包括卸載機構，所述機械手還包括第五機械手，所述第五機械手將經過冷卻處理的基板按層裝配到所述卸載機構上，所述卸載機構再通過搬運機構送往其他生產設備進行相應的生產工序。

9.一種使用如權利要求8所述的基板涂膠系統對基板進行涂膠處理的涂膠方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)將若干基板按層裝配于所述裝載機構上；

(2)通過所述第一機械手將所述裝載機構上的基板分別傳送至兩所述靜電處理機構進行除靜電處理；

(3)通過所述第二機械手先將經過除靜電處理的基板分別傳送到兩所述底膠涂覆機構進行涂覆底膠處理，再將經過涂覆底膠處理的基板分別傳送到兩所述旋涂機構進行涂覆光刻膠處理，接著再將經過涂覆光刻膠處理的基板分別傳送到兩所述干燥機構進行干燥處理；

(4)通過所述第三機械手先將經過干燥處理的基板分別傳送到兩個所述對位機構進行對位處理，再將經過對位處理的基板分別傳送到兩個所述邊膠處理機構進行去邊膠處理；

(5)通過所述第四機械手將經過去邊膠處理的基板分別傳送到所述若干加熱機構進行加熱處理，再將經過加熱處理的基板分別傳送到冷卻機構進行冷卻處理；

(6)通過所述第五機械手將經過冷卻處理的基板按層裝配于所述卸載機構上，最后通過所述搬運機構將所述卸載機構送往其他生產設備。