[發明專利]用于關閉和開啟處理腔室的裝/卸開口的裝置

無效

• 申請號: 201110319188.2
• 申請日: 2011-08-04
• 公開（公告）號: CN102376605A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: P·沃克
• 申請（專利權）人: 森托塞姆熱解決方案兩合有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 浦易文

技術領域

本發明涉及一種用于關閉和開啟至少一個用于基板處理的，特別是是用于半導體基板的處理的處理腔室的裝/卸口的裝置。

背景技術

在半導體和光伏產業中，在不同的處理腔室中處理基板，特別是半導體基板，是眾所周知的。每一個這樣的處理腔室具有至少一個常常通過門部件而可關的裝/卸口。為了使該處理腔室與外部環境隔離，特別是為了以氣密的方式密封該處理腔室，這是必須的。

對于處理腔室中的真空工藝，這是尤其必須的，但是，對于其它工藝也是有利的。這樣的門部件通常可軸樞地固定至處理腔室以使該門部件可從開啟(未封鎖)狀態活動到關閉(封鎖)狀態。在該開啟狀態，該門部件開啟用于向該處理腔室或從該處理腔室裝/卸基板裝/卸開口。在關閉狀態，該門部件封鎖該裝/卸口。通常，在該處理腔室的殼體和/或該門部件處提供密封部件，以在該關閉狀態密封該處理腔室。

但是，這樣的可樞軸門部件需要足夠的樞軸空間，這可能導致空間問題。進一步，該樞軸機構的構造也是昂貴的，因為需要為該樞軸活動提供很低的容許偏差，以提供裝/卸口的氣密密封。這樣的門部件也可能在相鄰的處理腔室中造成問題，其中，相鄰的處理腔室包含彼此面對的裝/卸口，要移動的基板直接在這些處理腔室之間移動，且該基板不暴露的環境中。樞軸移動的門部件常常不適用于這樣的配置。

發明內容

因此，本發明要解決的問題是提供一種裝置，其用于關閉和開啟至少一個處理腔室的裝/卸口，其容許處理腔室的簡單和經濟的氣密密封，同時只需要很小的空間。

根據本發明，通過根據權利要求1的裝置解決該問題。該從屬權利要求指向本發明進一步的實施例。

特別地，提供一種用于關閉和開啟用于基板處理的至少一個處理腔室的裝/卸口的裝置，該裝置包括至少一個管件和殼體，該殼體具有用于容納該管件的、在殼體中軸向延伸的腔室，以及一個橫向于軸向地與該腔室交叉的通道，其中該通道與處理腔室的裝/卸口對準且其中該腔室具有圓形的橫截面區域。進一步，提供至少一個固定單元，用于將該管件的一個部分在相對于該處理腔室的裝/卸口的預定位置定位和固定。該管件包括可連接至流體源和/或真空源的至少一個入口和/或出口，通過選擇性地施加流體和/或真空至該內部空間可以在展開狀態和收縮狀態之間活動該管件，在收縮狀態下，該管件向該固定部分收縮，其中在該展開狀態下，該管件阻塞該處理腔室的裝/卸口，且在收縮狀態下開啟該處理腔室的裝/卸口。這樣的一種裝置具有簡單的結構且可以可靠地阻塞和開啟該處理腔室。該殼體容許以一良好地限定的方式相對于該裝/卸口定位該管，且包含用于在展開狀態下的管的限定的鄰接區域，形成良好的密封特性。該腔室的圓形的橫截面區域可以一容易和經濟的方式甚至更大的長度地制作，且特別地適合通常的圓管。

優選地，該管件具有一直徑，展開或膨脹狀態下其是用于裝載的該處理腔室的該裝/卸口的高度的至少兩倍大小，以提供該裝/卸口的可靠的關閉和開啟。

在發明的一實施例中，該腔室的尺寸以這樣的方式確定：管件在展開狀態下在半徑方向上接觸腔室的壁，以使得管件密封通過殼體的通道，從而密封該處理腔室的裝/卸口，以及使得該管件在其收縮狀態下開啟該通道。

在本發明的一個實施例中，該固定單元包含在鄰近該管件的固定部分的該管件的內部中延伸的棒或桿件，其中該桿件可防止該部分向該管的中心活動。特別地，該桿件可以在徑向方向上對管件的被固定的部分施壓抵靠至支撐件，特別地，抵壓在上述的殼體上。

該桿件可包含軸向延伸的腔室，其包含可連接至一流體源和/或真空源的第一開口，以及從該腔室延伸至桿件外側的至少一個通道。這此情況下，該桿件可在該支持功能之外提供用于在該管中散布流體和/或真空的散布功能。

在一實施例中，該固定單元包含一位于該管件的外側的部件。該管件要固定的部分可以被固定至此部件，特別地，通過膠粘或者硬化。

為了提供該管件的可靠固定以及，可能地，管件相對于開口位置處環境的密封，該管件的端部區域設置至少一個支撐套管，其中該支撐套管將該端部保持在預定形狀，不論該管件是在展開狀態還是收縮狀態。優選地，該支撐套管在徑向方向上將管件推靠在一支撐件，特別地，推靠在上面提到的殼體中的密封件。

在一實施例中，提供至少一用于朝著該收縮位置或狀態偏置該管件的偏置元件。這樣的偏置元件只容許通過在該管件的內部中的正壓力來控制該管件的狀態。特別地，也在該管的收縮狀態下，流體可流經該管，以冷卻該管或為該管提供預定的溫度。在一簡單的構造中，該偏置元件可為位于該管件的內部的彈性帶，其中該帶可特別地形成為該管件的一體化的部分。