[發明專利]X射線位置測量裝置、該裝置的位置測量方法、以及該裝置的位置測量用程序

有效

• 申請號: 201110318863.X
• 申請日: 2011-10-19
• 公開（公告）號: CN102564360A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 樫村恒夫;阿須賀拓
• 申請（專利權）人: 精工精密有限公司
• 主分類號: G01B15/00
• 分類號: G01B15/00
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 楊暄

1.一種X射線位置測量裝置，其特征在于，包括：

X射線發射器與X射線照相機、

工件載置臺，用于載置測量對象、

第1移動部，用于使所述X射線發射器沿著該工件載置臺臺面向所述工件載置臺上的測量對象移動、

第2移動部，用于使所述X射線照相機沿著該工件載置臺臺面向所述該工件載置臺上的測量對象移動、

圖像顯示部，從所述X射線發射器發射出來的、穿透所述測量對象的X射線作為第1X射線投影圖像投影在該圖像顯示部上、

位置補正用夾具，配置在所述X射線發射器與所述X射線照相機之間，用于使所述X射線發射器發射出的X射線作為能夠把握位置的第2X射線投影圖像投射于圖像顯示部、

控制部，用于控制所述第1移動部和所述第2移動部，使所述X射線發射器和所述X射線照相機分別單獨向所述工件載置臺移動、以及

存儲部，用于至少將所述圖像顯示部中的基準位置與所述第2X射線投影圖像的位置之間的位置偏移量作為補正量進行存儲，其中

所述控制部包括：

第1移動單元，用于控制所述第1移動部和所述第2移動部，使所述X射線發射器和所述X射線照相機向在所述測量對象上進行位置測量的位置移動、

第1測量存儲單元，用于在進行所述位置測量的位置，對所述圖像顯示部中的基準位置與所述第2X射線投影圖像的位置之間的位置偏移量進行測量，同時將所述位置偏移量作為對應于該測量位置的補正量，存儲在所述存儲部、

第2移動單元，用于控制所述第1移動部和第2移動部，使所述X射線發射器和所述X射線照相機向進行所述位置測量的位置移動、和

第1位置測量單元，用于在進行所述位置測量的位置，根據所述補正量控制所述第1移動部和所述第2移動部，使所述X射線發射器的發射中心與所述X射線照相機的光軸一致，同時進行所述測量對象的位置測量。

2.如權利要求1所述的X射線位置測量裝置，其特征在于，進一步包括：

第3移動部，用于通過使所述X射線發射器和所述X射線照相機的其中之一沿著與所述工件載置臺垂直的方向移動，變更所述X射線照相機的放大倍率，其中，

所述控制部進一步包括：

第1放大倍率變更單元，用于控制所述第3移動部，變更所述X射線照相機的放大倍率、

第2測量存儲單元，用于在實現預定放大倍率的所述X射線照相機的位置，對所述圖像顯示部中的基準位置與所述第2X射線投影圖像的位置間的位置偏移量進行測量，同時將所述位置偏移量作為對應于該放大倍率的補正量存儲于所述存儲部、

第2放大倍率變更單元，用于控制所述第3移動部，變更所述X射線照相機的放大倍率、和

第2位置測量單元，用于在實現預定放大倍率的所述X射線照相機的位置，根據所述補正量控制所述第1移動部和所述第2移動部，使所述X射線發射器的發射中心與所述X射線照相機的光軸一致，同時進行所述測量對象的位置測量。

3.如權利要求1或2所述的X射線位置測量裝置，其特征在于，所述測量對象為多層印刷配線板，該多層印刷配線板上在進行位置測量的位置處設置有定位標志。