[發明專利]測試集成電路的自適應測試序列

有效

• 申請號: 201110317892.4
• 申請日: 2011-10-18
• 公開（公告）號: CN102692569A
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發明（設計）人: 陳俊晟;林鴻志;王敏哲;陳顥;彭經能
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/28
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;高雪琴

技術領域

本發明涉及半導體領域，更具體地，涉及測試集成電路的自適應測試序列。

背景技術

在晶圓上形成集成電路，然后分割為管芯。在使用管芯以前，將該管芯封裝為組件。為了確保集成電路的可靠性和性能滿足規格，測試封裝管芯。集成電路的測試進一步包括測試獨立管芯，該獨立管芯可以為片上系統(SoC)管芯。在每個管芯或組件的測試中，可以具有需要執行的多個測試項。

通常，使用測試項的固定序列實施測試，并且根據相同的預定義固定序列實施所有管芯或組件的晶圓針測的測試，其中，該管芯或組件具有相同結構，在具有疊層管芯的組件中，通常一個管芯一個管芯地實施測試，即，對于一管芯實施所有測試項，并其然后，對于另一管芯實施該測試項。然而，由于傾向于不能通過某些測試項，所以該方法具有較低的效率。因此，如果在傾向于沒有通過這些測試項以后實施這些測試項，則延長了找到失敗的測試項的時間，并且實際上浪費了傾向于沒有通過測試項的測試。為了克服這種缺點，提出了多種方法。

在多種方法之一中，在測試多個管芯或組件以后，分析對管芯或組件的晶圓針測的測試結果，并且跳過好像沒有故障的這些測試項。盡管這種方法導致較低的測試成本，但是當該管芯的確沒有通過所跳過的測試項時，這種方法可能導致較高罰款。在這種情況下，由于跳過該測試項目，所以故障管芯錯誤地通過該測試。

在另一種方法中，如果管芯或組件沒有通過測試項，則將這種最近沒有通過的測試項調節為測試序列的優先(頂部)測試項，并且下一管芯的測試從最近沒有通過的測試項開始。然而，意識到，最近沒有通過的測試項中的某些測試項可能碰巧是很少不能通過的測試項。例如，管芯可能沒有通過幾乎一直通過的測試項。因此，下一管芯和可能下一管芯以后的多個管芯將從該測試項開始進行測試。在該測試項下降至測試序列的底部以前，可能接受了許多故障管芯。因此，也沒有優化該方法的測試序列。

發明內容

為解決上述問題，本發明提供了一種方法，包括：根據第一器件的第一測試序列測試包含集成電路的第一器件，其中，第一測試序列包括多個排序的測試項，并且其中，第一測試序列包括第一測試項；在測試具有與第一器件相同的結構的多個器件時，基于沒有通過第一測試項的頻率計算第一測試項的測試優先級；響應于第一測試項的測試優先級調節第一測試序列，以生成第二測試序列，其中，第二測試序列與第一測試序列不同；以及根據第二測試序列測試與第一器件相同的第二器件。

其中，第二測試序列中的第一測試項的位置位于第一測試序列中的第一測試項的位置之前。

其中，位于第二測試序列中的第一測試項不是最高級測試項。

其中，計算第一測試項的測試優先級的步驟包括：將第一權重和第二權重分別分配給第一測試序列中的第一測試項和第二測試項，其中，第一權重與第二權重不同。

其中，使沒有通過第一測試項的所有器件的計數除以所有測試器件的總計數來計算第一測試項的測試優先級，其中，所有測試器件與第一器件相同。

其中，使沒有通過第一測試項的所有最近管芯的計數除以多個最近測試的器件的總計數來計算第一測試項的測試優先級，其中，沒有通過第一測試項的所有最近管芯在多個最近測試的器件中。

該方法進一步包括：在完成測試第一測試項以后，測量選自由第一器件的溫度、第一器件的應力、及其組合所構成的組中的參數；響應于參數的值，調節第一測試序列從而生成第三測試序列，其中，第三測試序列與第一測試序列不同；以及根據第三測試序列執行第一器件上的第一測試序列中的剩余測試項。

其中，第一測試項為測試鏈，測試鏈包括具有固定測試序列的多個測試項。

此外，本發明還提供了一種方法，包括：根據第一測試序列測試第一器件，其中，測試第一器件的步驟包括：執行第一測試序列中的第一測試項；以及在執行第一測試項的步驟以后，執行第一測試序列中的第二測試項，其中，沒有通過第二測試項；以及在測試第一器件的步驟以后，根據與第一測試序列不同的第二測試序列測試與第一器件相同的第二器件，其中，測試第二器件的步驟包括：執行第二測試序列中的最高級測試項；在執行最高級測試項的步驟以后，執行第二測試序列中的第二測試項；以及在執行第二測試項的步驟以后，執行第一測試項。

其中，沒有通過執行第二器件的第一測試項的步驟，并且其中，方法進一步包括：在測試第二器件的步驟以后，根據第二測試序列測試與第一器件相同的第三器件。