[發明專利]一種碳納米管的制備方法

無效

• 申請號: 201110315452.5
• 申請日: 2011-10-18
• 公開（公告）號: CN102330069A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發明（設計）人: 李明吉;狄海榮;楊保和;吳小國
• 申請（專利權）人: 天津理工大學
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/26;C01B31/02;B82Y40/00
• 代理公司: 天津佳盟知識產權代理有限公司 12002
• 代理人: 侯力

1.一種碳納米管的制備方法，其特征在于：采用直流等離子體噴射化學氣相沉積系統制備，步驟如下：

1）將硝酸鎳和硝酸鎂溶解于無水乙醇中制得混合溶液作為催化劑前驅物；

2）將上述混合溶液均勻滴在基片上，自然晾干；

3）將上述基片置于直流等離子體噴射化學氣相沉積設備腔內的沉積臺上，基片與沉積臺之間墊有錫絲；

4）關閉真空室并抽真空，當壓強小于0.1pa時，向真空室通入氬氣和氫氣，氬氣流量為1-3L/min，氫氣流量為6-13L/min，啟動直流電弧，調節弧電流為75～150A，調節排氣閥和腔壓調節閥，當腔內壓強穩定在2500～4000Pa時，還原反應5～20分鐘，制得Ni/MgO催化劑；

5）在保持氬氣流量條件下，逐漸減小氫氣的流量至6?L/min，然后通入碳氫化合物作為反應氣體，在壓強為2500～4000Pa和襯底溫度為750～1000°C條件下，反應時間10～30分鐘，在Ni/MgO表面沉積生成碳納米管。

2.根據權利要求1所述碳納米管的制備方法，其特征在于：所述混合溶液中硝酸鎳和硝酸鎂的摩爾比為1:1-10，Ni(NO₃)₂在混合溶液中的摩爾濃度為0.05～2?mol/L。

3.根據權利要求1所述碳納米管的制備方法，其特征在于：所述基片為鉬、鋯或石墨。

4.根據權利要求1所述碳納米管的制備方法，其特征在于：所述錫絲呈環狀纏繞八圈。

5.根據權利要求1所述碳納米管的制備方法，其特征在于：所述碳氫化合物為甲烷、乙炔、乙烯或液化氣，碳氫化合物氣體流量為50-150?mL/min。