[發明專利]光檢測裝置及用于該光檢測裝置的光學濾光器

無效

• 申請號: 201110310752.4
• 申請日: 2011-10-14
• 公開（公告）號: CN102455215A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發明（設計）人: 中原健;赤坂俊輔;坂本晃輝;藤井哲雄;古瀬駿介;有村聰一郎
• 申請（專利權）人: 羅姆股份有限公司
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42;G01J1/04;G02B5/22;G02B1/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 劉曉迪

1.一種光檢測裝置，具備通過光電變換進行光的檢測的多個光檢測部，其特征在于，至少具備：

第一光檢測部，其在比光電變換區域更靠受光面側的位置具有吸收波長范圍為λ的光的光吸收半導體層；

第二光檢測部，其在比光電變換區域更靠受光面側的位置具有不存在光的吸收區域的透射膜，

通過計算所述第一光檢測部的信號和所述第二光檢測部的信號來計測波長范圍為λ的光量。

2.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，所述光吸收半導體層為Mg_xZn_1-xO，其中，0≤X＜1。

3.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，所述透射膜由電介體構成。

4.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，所述第一光檢測部及第二光檢測部的光電變換區域在紫外區域具有受光感光度。

5.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，以所述光吸收半導體層和透射膜的光程長一致且該光吸收半導體層和透射膜的透射率光譜的干涉條紋一致的方式構成。

6.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，具備所述光吸收半導體層的光檢測部包含所述第一光檢測部而形成有多個，所述光吸收半導體層針對各個光檢測部而不同。

7.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，具備所述光吸收半導體層的光檢測部除了所述第一光檢測部以外，至少具備具有面積與該第一光檢測部不同的光電變換區域的第三光檢測部，通過所述第一光檢測部、第二光檢測部及第三光檢測部算出波長范圍為λ的光量。

8.如權利要求7所述的光檢測裝置，其特征在于，具備：第一計算裝置，其利用所述第一光檢測部和第三光檢測部算出除了波長范圍為λ之外的光的每單位受光面積的光檢測信號J0；第二計算裝置，在將所述第二光檢測部的受光面積設為S的情況下，該第二計算裝置求出S×J0與該第二光檢測部的光檢測信號之差，算出波長范圍為λ的光量。

9.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，全部的所述光檢測部在比光電變換區域更靠受光面側的位置具備反射可見光的反射濾光器。

10.如權利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于，在所述第一光檢測部，以比第一光電變換區域淺的深度形成有第二光電變換區域，在所述第二光檢測部，以比第三光電變換區域淺的深度形成有第四光電變換區域，所述第一光電變換區域及第三光電變換區域短路，通過計算來自第二光電變換區域的光檢測信號和來自第四光電變換區域的光檢測信號，計測波長范圍為λ的光量。

11.一種光檢測裝置，具備通過光電變換進行光的檢測的多個光檢測部，其特征在于，至少具備：

第一光檢測部，其在比光電變換區域更靠受光面側的位置具有吸收波長范圍為λ的光的第一光學濾光器；

第二光檢測部，其在比光電變換區域更靠受光面側的位置具有吸收包含波長范圍為λ在內的波長范圍為λ1的光或不存在光的吸收區域的第二光學濾光器，

所述第一光學濾光器及第二光學濾光器以在光的透射光譜中不存在濾光器的膜厚產生的干涉條紋的方式構成，

通過計算所述第一光檢測部的信號和所述第二光檢測部的信號計測波長范圍為λ的光量。

12.如權利要求11所述的光檢測裝置，其特征在于，所述第一光學濾光器及第二光學濾光器分別為在所述λ波長范圍不吸收的膏狀材料和吸收端不同的半導體粉末的混合物。

13.如權利要求11所述的光檢測裝置，其特征在于，至少具備第三光檢測部，該第三光檢測部具有與所述第一光學濾光器相同的特性的第三光學濾光器和面積與所述第一光檢測部不同的光電變換區域，通過所述第一光檢測部、第二光檢測部及第三光檢測部算出波長范圍為λ的光量。

14.如權利要求13所述的光檢測裝置，其特征在于，具備：第一計算裝置，其利用所述第一光檢測部和第三光檢測部算出除了波長范圍為λ之外的光的每單位受光面積的光檢測信號J0；第二計算裝置，在將所述第二光檢測部的受光面積設為S的情況下，該第二計算裝置求出S×J0與該第二光檢測部的光檢測信號之差，算出波長范圍為λ的光量。