[發明專利]一種TiAlN涂層硬質合金刀片無效
| 申請號： | 201110310618.4 | 申請日： | 2011-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN102321873A | 公開（公告）日： | 2012-01-18 |
| 發明（設計）人： | 羅建軍 | 申請（專利權）人： | 成都名鎢科技有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610100 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 tialn 涂層 硬質合金 刀片 | ||
【權利要求書】：
1.一種TiAlN涂層硬質合金刀片的制備方法，其特征在于依次包含以下主要步驟：
(1)TiAlN涂層基體清洗；
(2)采用電子槍等離子增強的多弧技術，由Ar離子和Ti離子共同對試樣進行清洗打底；
(3)逐漸降低偏壓到-600V～-200V，并通入氮氣，沉積一定厚度的Ti/TiN復合過渡層(由純Ti逐漸過渡到TiN)；
(4)采用電子槍等離子輔助增強的非平衡磁控濺射技術沉積TIAlN涂層。
2.根據權利要求1所述一種TiAlN涂層硬質合金刀片的制備方法，其進一步特征在于：
(1)TiAlN涂層基體為超細WC-xCo硬質合金刀片，其中x為6～10％；
(2)TiAlN涂層的沉積采用電子槍等離子輔助增強的非平衡磁控濺射技術，電子槍電流115～145A，磁控靶電流15～20A。涂層沉積時真空度：0.10～0.45Pa，氮氣流量：40～80cm3/min，沉積偏壓：-50V～-80V，沉積時間：15～50min。
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