[發明專利]一種靜電力顯微鏡的間歇接觸式測量方法

無效

• 申請號: 201110310043.6
• 申請日: 2011-10-13
• 公開（公告）號: CN102507986A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 丁喜冬;李超;林國淙
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 禹小明;邱奕才

1.一種靜電力顯微鏡的間歇接觸式測量方法，所述靜電力顯微鏡包括由探針（1-1）、探針位置感應器（1-2）、壓電激振器（1-3）和壓電掃描器（1-5）組成的掃描頭（1）、以及低頻電壓信號發生器（2）、高頻電壓信號發生器（3）、低頻振動信號檢測器（4）、高頻振動信號檢測器（5）和控制器（6），所述壓電掃描器（1-5）上放置有樣品（1-4），其特征在于測量方法同時進行如下操作：

操作A、由低頻電壓信號發生器（2）產生對應探針（1-1）較低本征頻率相同或接近的電壓信號，并施加在與探針（1-1）緊密相連的壓電激振器（1-3）上，從而激發探針（1-1）在低頻振動模式上振動，探針位置感應器（1-2）感應到這種振動并將它傳送到低頻振動信號檢測器（4），測量出其振幅和相位信號，控制器（6）控制壓電掃描器（1-5）使探針（1-1）在樣品（1-4）上掃描從而得到樣品形貌圖；

操作B、由高頻電壓信號發生器（3）產生對應探針（1-1）較高本征頻率相同或接近的電壓信號，并施加探針（1-1）和/或樣品（1-4）上，探針（1-1）和樣品（1-4）間的靜電力相互作用，激發探針（1-1）在高頻振動模式上振動，探針位置感應器（1-2）感應到這種振動并將它傳送到高頻振動信號檢測器（5），測量出其振幅和相位信號，控制器（6）利用該振幅和相位信號進行成像，得出靜電力分布的二維圖像。

2.根據權利要求1所述的靜電力顯微鏡的間歇接觸式測量方法，其特征在于所述高頻電壓信號發生器（3）產生的電壓信號為交流信號，該交流信號能施加在探針（1-1）或樣品（1-4）上。

3.根據權利要求1所述的靜電力顯微鏡的間歇接觸式測量方法，其特征在于所述操作B中，能由高頻電壓信號發生器（3）同時產生多個電壓信號，以激發探針（1-1）的多個高頻振動模式，相應地，高頻振動信號檢測器（5）也同時檢測多個振動信號并由控制器（6）控制成像。

4.根據權利要求3所述的靜電力顯微鏡的間歇接觸式測量方法，其特征在于所述操作B所生成的靜電力圖像包括振幅和相位兩幅圖像。