[發(fā)明專利]基于模擬退火算法的自適應(yīng)壓力控制的原子層沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110309981.4
• 申請日: 2011-10-13
• 公開（公告）號: CN103046029A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王燕;李勇滔;夏洋;趙章琰;石莎莉
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52
• 代理公司: 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種基于模擬退火算法的自適應(yīng)壓力控制的原子層沉積設(shè)備，包括沉積腔室、等離子氣體產(chǎn)生系統(tǒng)、射頻電源匹配器及射頻電源，其特征在于，還包括：

氣壓采集電路、模擬退火控制電路、抽氣裝置以及充氣裝置；

所述氣壓采集電路采集所述沉積腔室的氣壓；

所述模擬退火控制電路接收所述氣壓采集電路采集的氣壓，控制所述充氣裝置對所述沉積腔室充氣，控制所述抽氣裝置對所述沉積腔室抽氣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述抽氣裝置包括：

電壓電流放大模塊、繼電器、泵組控制器、機(jī)械泵、分子泵及手動調(diào)節(jié)閥；

所述電壓電流放大模塊的輸出端依次通過所述繼電器、泵組控制器、機(jī)械泵、分子泵及手動調(diào)節(jié)閥與所述沉積腔室的輸入端連接；

所述電壓電流放大模塊的輸入端與所述模擬退火控制電路的輸出端連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求3所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述充氣裝置包括：

兩個質(zhì)量流量控制器、電磁閥及手動調(diào)節(jié)閥；

其中一所述質(zhì)量流量控制器的輸入端與所述模擬退火控制電路的輸出端連接，輸出端依次通過所述電磁閥及手動調(diào)節(jié)閥與所述沉積腔室的輸入端連接，輸出端還與所述氣壓采集電路連接；

另一所述質(zhì)量流量控制器的輸入端與所述模擬退火控制電路的輸出端連接，輸出端通過所述電磁閥與所述等離子氣體產(chǎn)生系統(tǒng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述模擬退火控制電路包括：

計算機(jī)和數(shù)據(jù)處理模塊；?

所述計算機(jī)通過所述數(shù)據(jù)處理模塊接收所述氣壓采集電路采集的氣壓，判斷所述沉積腔室的氣壓是否處于預(yù)設(shè)范圍，當(dāng)所述氣壓低于預(yù)設(shè)范圍時，則控制所述質(zhì)量流量控制器、電磁閥及手動調(diào)節(jié)閥對所述沉積腔室充氣；

當(dāng)所述氣壓高于預(yù)設(shè)范圍時，則通過所述數(shù)據(jù)處理模塊發(fā)送開啟命令，控制所述電壓電流放大模塊輸出高電壓，控制繼電器接通，進(jìn)而開啟所述泵組控制器的電源，啟動機(jī)械泵、分子泵及打開手動調(diào)節(jié)閥對所述沉積腔室抽氣。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述充氣裝置還包括：

惰性氣體源瓶，所述惰性氣體源瓶的輸入端通過一電磁閥與所述一質(zhì)量流量控制器的輸出端連接，所述惰性氣體源瓶的輸出端與手動電磁閥連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的原子層沉積設(shè)備，其特征在于，所述原子層沉積設(shè)備還包括：

溫度控制器，所述溫度控制器連接在所述沉積腔室與所述數(shù)據(jù)處理模塊之間。