[發明專利]直線振動調制微型靜電場傳感器

無效

• 申請號: 201110309911.9
• 申請日: 2011-10-13
• 公開（公告）號: CN102323490A
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發明（設計）人: 季鑫源;徐偉;行鴻彥
• 申請（專利權）人: 南京信息工程大學
• 主分類號: G01R29/12
• 分類號: G01R29/12
• 代理公司: 南京匯盛專利商標事務所(普通合伙) 32238
• 代理人: 張立榮

1.一種直線振動調制微型靜電場傳感器，它包括屏蔽電極、感應電極、壓電疊堆、壓電疊堆安裝板、位置調節螺紋和安裝底座，屏蔽電極設置在安裝底座上并接地，感應電極與屏蔽電極相對平行設置，感應電極下部連接壓電疊堆，壓電疊堆固定在壓電疊堆安裝板上，壓電疊堆安裝板通過位置調節螺紋與安裝底座連接；所述屏蔽電極上開有若干圓孔，或者開有若干長槽型狹縫。

2.根據權利要求1所述的直線振動調制微型靜電場傳感器，其特征在于：所述屏蔽電極上的圓孔的直徑為0.2-2毫米，相鄰圓孔的中心距為圓孔直徑的1.1-1.2倍。

3.根據權利要求1所述的直線振動調制微型靜電場傳感器，其特征在于：所述屏蔽電極上狹縫為平行狹縫，狹縫寬度為0.2-2毫米，相鄰狹縫的間距為狹縫寬度的0.1-0.2倍。

4.根據權利要求1所述的直線振動調制微型靜電場傳感器，其特征在于：屏蔽極電極和感應電極間的距離設計為0.3-0.5mm。

5.根據權利要求1、2、3或4所述的直線振動調制微型靜電場傳感器，其特征在于：所述屏蔽電極為圓形金屬膜片，所述感應電極為與屏蔽電極形狀相當的圓形結構。