[發明專利]電子級超純氨的提純裝置及其提純方法

無效

• 申請號: 201110309452.4
• 申請日: 2011-10-13
• 公開（公告）號: CN102320623A
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發明（設計）人: 嚴巍
• 申請（專利權）人: 周平
• 主分類號: C01C1/12
• 分類號: C01C1/12
• 代理公司: 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙) 33217
• 代理人: 魏亮

1.電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：包括液氨儲槽(1)、液氨泵(2)、汽化器(3)、除油器(4)、精餾塔(5)、終端純化器(6)、冷凝器(7)和產品儲罐(8)，所述精餾塔包括第一精餾塔(51)和第二精餾塔(52)，液氨泵接入到液氨儲槽中并將液氨打入汽化器，汽化器輸出連接到除油器上，除油器輸出連接到第一精餾塔塔中上，第一精餾塔從塔頂輸出連接到第二精餾塔塔釜，第二精餾塔從塔頂輸出連接到終端純化器上，終端純化器輸出連接到冷凝器上，冷凝器輸出連接到產品儲罐上。

2.根據權利要求1所述的電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：所述第一精餾塔的塔頂設有與第一精餾塔連通的第一塔頂冷凝器(511)，第一塔頂冷凝器輸出連接到第二精餾塔，在第二精餾塔的塔頂設有與第二精餾塔連通的第二塔頂冷凝器(521)，第二塔頂冷凝器輸出連接到第二精餾塔和產品儲罐，在第一精餾塔的塔底設有與第一精餾塔連通的第一塔底再沸器(512)，第一塔底再沸器輸出連接到第一精餾塔，在第二精餾塔的塔底設有與第二精餾塔連通的第二塔底再沸器(522)，第二塔底再沸器輸出連接到第二精餾塔。

3.根據權利要求2所述的電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：所述第一塔底再沸器和第二塔底再沸器還并聯輸出連接到液氨回收罐(9)。

4.根據權利要求3所述的電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：所述液氨回收罐連接在第一塔底再沸器的底部和第二塔底再沸器的底部。

5.根據權利要求3或4所述的電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：所述液氨回收罐也與汽化器的底部接通。

6.使用權利要求1所述的提純裝置來提純電子級超純氨的提純方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)通過液氨泵(2)將液氨儲槽(1)中的液氨打入汽化器(3)汽化；

2)經汽化器汽化后的氨氣送入除油器(4)除油，除油后直接送入第一精餾塔(51)進行輕重組分分離，在第一精餾塔塔頂經過第一塔頂冷凝器(511)后除去不凝性的輕組分雜質，第一塔底再沸器(512)中含重組分雜質的液氨排放到液氨回收罐中，第一精餾塔塔釜的塔頂經冷凝的液氨送入第二精餾塔(52)進一步去除輕重組分雜質；

3)在第二精餾塔塔頂經過第二塔頂冷凝器(521)后除去不凝性的輕組分雜質，第二塔底再沸器(522)中含重組分雜質的液氨排放到液氨回收罐(9)中，檢測經過第二塔頂冷凝器的液氨是否合格，若合格則裝入產品儲罐(8)，若不合格則同第二精餾塔塔釜的氨氣一起送入終端純化器(6)進行微量除雜，最終經冷凝器(7)冷凝得到合格的超純氨裝入產品儲罐。

7.根據權利要求6所述的電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：所述汽化器的工作溫度控制在50℃～80℃，工作壓力控制在1Mpa～1.5Mpa之間；液氨的汽化速率在180kg/h～230kg/h。

8.根據權利要求6或7所述的電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：所述汽化器內工作液位高度為0.5m～0.8m。

9.根據權利要求6所述的電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：所述第一精餾塔和第二精餾塔的工作溫度控制在20℃～80℃，工作壓力控制在0.9Mpa～1.3Mpa。

10.根據權利要求6或9所述的電子級超純氨的提純裝置，其特征在于：所述第一精餾塔和第二精餾塔的高度為23m～26m。