[發明專利]用于分子鍵合硅襯底和玻璃襯底的方法

無效

• 申請號: 201110309281.5
• 申請日: 2011-10-10
• 公開（公告）號: CN102446809A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: S·凱爾迪勒;D·德爾普拉
• 申請（專利權）人: S.O.I.TEC絕緣體上硅技術公司
• 主分類號: H01L21/762
• 分類號: H01L21/762;H01L21/20
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其特征在于，該方法包括下列步驟：

通過至少兩個支撐點(S1，S2)來保持所述第一襯底(1a)，

將所述第一襯底(1a)和所述第二襯底(1b)放置成所述第一表面(2a)和所述第二表面(2b)彼此相對，

通過在至少一個壓力點(P1)和所述兩個支撐點(S1，S2)之間朝向所述第二襯底(1b)施加應變(F)，使所述第一襯底(1a)變形，

使變形的第一表面(2a)與所述第二表面(2b)相接觸，

逐漸釋放所述應變(F)。

2.根據權利要求1所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中壓力點的集合所形成的凸包的表面積為零，支撐點和壓力點的集合所形成的凸包的表面積不為零。

3.根據權利要求1至2中的一項所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中通過放置在支撐點(S1，S2)處的吸盤(3)來保持所述第一襯底(1a)。

4.根據權利要求3所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中每個吸盤(6)連接到伸縮臂(4)。

5.根據權利要求1至2中的一項所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中所述第二襯底(1b)放置在支撐件(10)上，所述支撐件(10)包括分別位于所述第二襯底(1b)的每一側上的至少兩個隔離物(11)，所述隔離物(11)高于所述第二襯底(1b)的厚度。

6.根據權利要求5所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中通過放在所述隔離物(11)上來保持所述第一襯底(1a)，所述支撐點(S1，S2)為所述隔離物(11)和所述第一襯底之間的接觸點。

7.根據權利要求5至6中的一項所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中所述支撐件(10)包括保持所述第二襯底(1b)的至少一個吸盤(12)。

8.根據權利要求1至7中的一項所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中通過至少一個活塞桿(5)來施加應變(F)。

9.根據權利要求1至8中的一項所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中所述第一襯底(1a)為玻璃片，其中所述第二襯底(1b)為硅磚。

10.根據權利要求1至9中的一項所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中對于每個第二襯底(1b)，對所述第一襯底(1a)施加應變(F)，從而將所述第一襯底(1a)順序鍵合到多個第二襯底(1b)上。

11.根據權利要求8和10所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中至少一個活塞桿(5)安裝在移動設備(6)上，并對所述第一襯底(1a)順序施加每個應變(F)。

12.根據權利要求1至9中的一項所述的用于將具有第一表面(2a)的第一襯底(1a)鍵合到具有第二表面(2b)的第二襯底(1b)的方法，其中通過使整個所述第一襯底(1a)變形，將所述第一襯底(1a)同時鍵合到多個第二襯底(1b)上。