[發明專利]一種晶硅電池的三步變溫擴散工藝在審
| 申請號： | 201110308413.2 | 申請日： | 2011-10-12 |
| 公開（公告）號： | CN102383198A | 公開（公告）日： | 2012-03-21 |
| 發明（設計）人： | 何晨旭;楊雷;殷海亭;凌振江;陳陽泉;王冬松;王步峰 | 申請（專利權）人： | 潤峰電力有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/18 | 分類號： | C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221 | 代理人： | 王立曉 |
| 地址： | 277600 山東省濟*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電池 三步變溫 擴散 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶硅電池的三步變溫擴散工藝，其特征是，包括步驟如下：
(1)將制絨后的硅片進舟后先升溫到700～810℃通入大氮、小氮和氧氣進行低溫預沉積擴散；
(2)升溫到810～830℃，通入大氮進行推結；
(3)通入大氮、小氮和氧氣，將爐溫升高到830～870℃進行再次沉積擴散。
2.根據權利要求1所述的晶硅電池的三步變溫擴散工藝，其特征是，包括步驟如下：
(1)將制絨后的硅片插入石英舟中，上舟，進舟后將爐體升溫到700～810℃，然后通入大氮、小氮和氧氣進行低溫預沉積擴散，沉積擴散時間15～20min；
(2)步驟(1)完成后將爐溫升高到810～830℃，通入大氮進行推結，推結時間為10～15min；
(3)推結完后通入大氮、小氮和氧氣，將爐溫升高到830～870℃進行再次沉積擴散，擴散時間為5～15min。
3.根據權利要求1或2所述的晶硅電池的三步變溫擴散工藝，其特征是，步驟(1)中通入5～10slm大氮、0.7～1.5slm小氮、0.3～1.0slm氧氣。
4.根據權利要求1或2所述的晶硅電池的三步變溫擴散工藝，其特征是，步驟(2)中通入5～10slm大氮。
5.根據權利要求1或2所述的晶硅電池的三步變溫擴散工藝，其特征是，步驟(3)中通入5～10slm大氮、0.5～1.5slm小氮和0.1～0.8slm氧氣。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于潤峰電力有限公司，未經潤峰電力有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110308413.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
