[發明專利]具有非接合半導體特性靶的濺射陰極

有效

• 申請號: 201110306609.8
• 申請日: 2011-09-27
• 公開（公告）號: CN102420092A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: S·D·費爾德曼-皮博迪;R·D·戈斯曼;R·W·布萊克;P·L·奧基夫
• 申請（專利權）人: 初星太陽能公司
• 主分類號: H01J37/34
• 分類號: H01J37/34;H01J37/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 柯廣華;朱海煜

1.一種濺射陰極(10)，包括：

定義濺射表面(14)和背表面(16)的可拆卸靶(12)，其中，所述背表面(16)對著所述濺射表面(12)，并且其中，所述靶(12)包含半導體特性材料；

背板(18)，放置成面向所述靶(12)的所述背表面(16)并且不接合到所述靶(12)的所述背表面(16)；以及

非接合附連機制，可拆卸地將所述可拆卸靶(12)保持在所述濺射陰極(10)之內，以使得所述背表面(16)在濺射期間面向所述背板(18)。

2.如權利要求1所述的濺射陰極(10)，其中，所述靶的所述濺射表面(14)在濺射期間具有濺射溫度，所述濺射陰極還包括：

溫度傳感器(54)，放置成測量所述靶(12)的所述濺射表面(14)的所述溫度。

3.如權利要求1或2所述的濺射陰極(10)，還包括：

加熱元件(17)，放置在所述背板(18)之上或之內以向所述靶(12)提供熱能。

4.如以上權利要求中的任一項所述的濺射陰極(10)，其中，所述靶(12)的所述背表面(16)與所述背板(18)接觸。

5.如以上權利要求中的任一項所述的濺射陰極(10)，其中，所述靶(12)的所述背表面(16)與所述背板(18)之間存在間隙。

6.如權利要求5所述的濺射陰極(10)，還包括：

隔離物(34)，放置在所述靶(12)的所述背表面(16)與所述背板(18)之間，以使所述靶(12)與所述背板(18)分離從而定義所述間隙。

7.如以上權利要求中的任一項所述的濺射陰極(10)，其中，所述非接合附連機制包括：

第一支架(20)，沿所述濺射表面(14)的第一邊緣(21)放置以與所述濺射表面(14)的一部分重疊；以及

第二支架(22)，沿所述濺射表面(14)的第二邊緣(23)放置以與所述濺射表面(14)的一部分重疊。

8.如權利要求7所述的濺射陰極(10)，還包括：

第一暗區護罩(42)，放置成防止所述第一支架(20)被濺射；以及

第二暗區護罩(44)，放置成防止所述第二支架(22)被濺射。

9.如權利要求8所述的濺射陰極(10)，其中，所述靶(12)的所述濺射表面(14)在濺射期間具有濺射溫度，所述濺射陰極(10)還包括：

溫度傳感器(54)，放置在所述第一暗區護罩(42)的背表面并放置成監測所述靶(12)的所述濺射表面(14)的所述濺射溫度。

10.如權利要求7至9中的任一項所述的濺射陰極(10)，還包括：

第一隔離物，連接到所述第一支架并放置在所述靶的所述背表面與所述背板之間；以及

第二隔離物，連接到所述第二支架并放置在所述靶的所述背表面與所述背板之間。

11.如權利要求7至10中的任一項所述的濺射陰極(10)，還包括：

所述背板(18)與所述靶(12)之間的偏置構件(19)，以將所述靶(12)推向靠著所述第一支架(20)和所述第二支架(22)。

12.如權利要求7至11中的任一項所述的濺射陰極(10)，其中，第一懸垂凸緣(24)從所述第一支架(20)延伸并與所述靶(12)的所述濺射表面(14)的第一部分重疊，并且其中，第二懸垂凸緣(26)從所述第二支架(22)延伸并與所述靶(12)的所述濺射表面(14)的第二部分重疊，其中所述第一懸垂凸緣和所述第二懸垂凸緣(24)、(26)中的每一個分別從所述靶(12)的第一邊緣(21)和第二邊緣(23)延伸，在所述濺射表面(14)的約0.5％到約5％上方延伸。

13.如權利要求7至12中的任一項所述的濺射陰極(10)，其中，所述第一支架(20)、所述第二支架(22)、及所述背板(18)定義滑軌(28)，用于在它們之間可拆卸地接收多個靶(12)。

14.如權利要求13所述的濺射陰極(10)，還包括：

可拆卸端支架，其中，所述可拆卸端支架在濺射期間將所述靶固定在所述滑軌內并允許在耗盡時更換所述靶。

15.如權利要求7至14中的任一項所述的濺射陰極(10)，其中，所述濺射陰極(10)定義基本互相平行放置的第一滑軌(60)和第二滑軌(62)，所述濺射陰極(10)還包括：

中間隔欄(64)，放置在所述第一滑軌(60)與所述第二滑軌(62)之間。