[發(fā)明專利]包含相位元件的垂直入射寬帶偏振光譜儀和光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110306405.4 | 申請(qǐng)日： | 2011-10-11 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103048047A | 公開（公告）日： | 2013-04-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉濤;李國(guó)光;趙江艷;艾迪格·基尼歐;馬鐵中;夏洋;嚴(yán)曉浪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01J3/447 | 分類號(hào)： | G01J3/447;G01J3/02;G01B11/06;G01B11/24;G01N21/21;G01N21/25 |
| 代理公司： | 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302 | 代理人： | 劉麗君 |
| 地址： | 100029 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 包含 相位 元件 垂直 入射 寬帶 偏振 光譜儀 光學(xué) 測(cè)量 系統(tǒng) | ||
1.一種包含相位元件的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于，包括：
光源、分光元件、聚光單元、偏振器、相位補(bǔ)償元件、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探測(cè)單元；
所述分光元件設(shè)置于所述光源和所述聚光單元之間的光路中，用于使來(lái)自光源的光束在入射至所述聚光單元之前部分地通過，以及接收從樣品上反射的、且依次經(jīng)過所述第一平面反射元件、所述第一曲面反射元件、所述相位補(bǔ)償元件、所述偏振器和所述聚光單元的光束并將該光束反射至所述探測(cè)單元；
所述聚光單元，接收通過所述分光元件的光束并使該光束變成平行光束；
所述偏振器設(shè)置于所述聚光單元和所述相位補(bǔ)償元件之間，使所述平行光束變成偏振光束；?
所述相位補(bǔ)償元件設(shè)置于所述偏振器和所述第一曲面反射元件之間，調(diào)整所述偏振光束的偏振狀態(tài)并使光束透射通過；
所述第一曲面反射元件，接收通過所述相位補(bǔ)償元件的平行光束并使該光束變成會(huì)聚光束；
所述第一平面反射元件，接收所述會(huì)聚光束并將所述會(huì)聚光束反射后垂直地聚焦到樣品上；以及
所述探測(cè)單元用于探測(cè)從樣品上反射的且依次經(jīng)過所述第一平面反射元件、所述第一曲面反射元件、所述相位補(bǔ)償元件、所述偏振器和所述聚光單元并被所述分光元件反射的光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：
所述第一平面反射元件和所述第一曲面反射元件具有相同的反射材料和鍍膜結(jié)構(gòu)并滿足光束的入射角相同和入射平面相互垂直的條件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：
所述分光元件為分光薄片、分光棱鏡、點(diǎn)格分光鏡或薄膜分光鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：
所述聚光單元為至少一個(gè)透鏡或至少一個(gè)曲面反射鏡。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：
所述分光元件為邊緣處于光路中的第二反射元件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：
所述聚光單元為至少一個(gè)透鏡。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于，所述垂直入射寬帶偏振光譜儀還包括：
設(shè)置在所述探測(cè)單元和所述第二反射元件之間的光路中的第三反射元件；
所述探測(cè)單元，探測(cè)從樣品上反射的且依次經(jīng)過所述第一平面反射元件、所述第一曲面反射元件、所述相位補(bǔ)償元件、所述偏振器、所述至少一個(gè)透鏡、所述第二反射元件和所述第三反射元件的光束；
所述第一平面反射元件和所述第一曲面反射元件具有相同的反射材料和鍍膜結(jié)構(gòu)并滿足光束的入射角相同和入射平面相互垂直的條件；并且所述第二反射元件和所述第三反射元件具有相同的反射材料和鍍膜結(jié)構(gòu)并滿足光束的入射角相同和入射平面相互垂直的條件。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：
所述聚光單元為第二曲面反射元件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：
所述第一平面反射元件和所述第一曲面反射元件具有相同的反射材料和鍍膜結(jié)構(gòu)并滿足光束的入射角相同和入射平面相互垂直的條件；并且所述第二反射元件和所述第二曲面反射元件具有相同的反射材料和鍍膜結(jié)構(gòu)并滿足光束的入射角相同和入射平面相互垂直的條件。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：所述垂直入射寬帶偏振光譜儀還包括：
設(shè)置在所述探測(cè)單元和所述第二曲面反射元件之間的光路中的第三反射元件；
所述探測(cè)單元，探測(cè)從樣品上反射的且依次經(jīng)過所述第一平面反射元件、所述第一曲面反射元件、所述相位補(bǔ)償元件、所述偏振器、所述第二曲面反射元件和第三反射元件的光束；并且所述第三反射元件和所述第二曲面反射元件具有相同的反射材料和鍍膜結(jié)構(gòu)并滿足光束的入射角相同和入射平面相互垂直的條件。
11.根據(jù)權(quán)利要求5-10中的任意一項(xiàng)所述的垂直入射寬帶偏振光譜儀，其特征在于：
所述第二反射元件為具有至少一直線邊緣并且該邊緣直線與光路的主光相交的反射元件。
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