[發明專利]雙層密封射頻激勵“Z”折疊波導CO2激光器

無效

• 申請號: 201110306088.6
• 申請日: 2011-10-11
• 公開（公告）號: CN102340095A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: 田兆碩;孫正和;李琦;孫劍峰;王騏
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學（威海）
• 主分類號: H01S3/223
• 分類號: H01S3/223;H01S3/038;H01S3/036;H01S3/03
• 代理公司: 威海科星專利事務所 37202
• 代理人: 王元生

技術領域

本發明涉及一種激光器，具體地說是一種雙層密封射頻激勵“Z”折疊波導CO₂激光器。

背景技術

高輸出功率、小體積的射頻激勵波導CO₂激光器在工業、醫學及軍事等領域有廣泛的應用,為提高激光器輸出功率,同時保持模式好、小體積的特點,現已研制出多種?“Z”折疊類型的射頻波導CO₂激光器。為了安裝和調試方便，這些激光器都是采用金屬殼體作為真空室的，其殼體上蓋、殼前后壁的通光孔、殼側壁的電線孔都是由壓緊橡膠O型圈方式密封。由于折疊激光諧振腔需要的鏡片較多，因此殼體前后端壁的通光孔較多。因需要調整殼端壁上鏡片的方向，在鏡片與殼端壁之間的密封O型圈擠壓力可能是不均勻的，在密封O型圈受擠壓力小的位置可能有微漏氣。又由于殼體上蓋面積較大，上蓋周邊O型圈橡膠密封線較長、殼側壁電路引線孔較多，需要密封的部位較多，因此從密封O型圈位置漏氣的可能性較大。現有的“Z”折疊類型的射頻波導CO₂激光器的真空室都是單層殼體密封結構，真空室內外氣壓差較大，因而難以較長時間保持較高度的真空密封，激光器壽命不夠長。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是克服上述現有技術的不足，?提供一種結構緊湊、體積小，可分別局部拆卸安裝，調整、操作方便，雙層殼體密封，使用壽命較長的雙層密封射頻激勵“Z”折疊波導CO₂激光器。

本發明解決上述技術問題采用的技術方案是：一種雙層密封射頻激勵“Z”折疊波導CO₂激光器，其設有殼體、殼蓋、折疊波導放電系統、激光諧振腔鏡、電微調器、氣閥、射頻接頭，殼體是由底、前端壁、后端壁、左側壁、右側壁構成的開口向上的長方形整體箱，上開口安裝有殼蓋，折疊波導放電系統置于殼體內，若干個激光諧振腔鏡分別密封固定在殼體的前端壁、后端壁外側光孔上，射頻接頭、電微調器置于殼體的左側壁外，電微調器、射頻接頭、折疊波導放電系統由密封穿過殼體左側壁的若干條電線連接，氣閥密封固定在殼體的右側壁外側的氣孔上，其特征是：所述殼體的前端壁、后端壁、左側壁、右側壁外側分別相應設有前凹槽、后凹槽、左凹槽、右凹槽，殼體外側的各個相鄰凹槽之間的槽壁上設有互相連通的串氣孔，前凹槽、后凹槽、左凹槽、右凹槽外部密封安裝有相應的前端板、后端板、左側板、右側板，殼體分別與前端板、后端板、左側板、右側板之間形成封閉環形夾層空間；前端板或后端板上與激光諧振腔鏡的輸出鏡相對應位置設有光孔并密封安裝有激光輸出窗，左側板上設有電孔并在其外部密封安裝有射頻接頭，右側板上與殼體右側壁上氣閥相對應位置設有圓形氣孔，密封固定在殼體右側壁的氣閥穿過圓形氣孔，向外伸出右側板，右側板上還密封安裝有第二氣閥。

本發明所述殼體上殼蓋的外圍設有矩形環狀凸臺，矩形環狀凸臺上密封安裝一外蓋，殼蓋與外蓋之間形成蓋部夾層空間，殼體上矩形環狀凸臺里側設有若干個通氣孔，蓋部夾層空間通過通氣孔與環形夾層空間連通，構成整個外真空室。

本發明所述前端壁、后端壁和前端板、后端板之間分別安裝有O型密封圈，左側壁、右側壁和左側板、右側板之間分別安裝有O型密封圈，并用螺釘壓緊。

本發明所述殼蓋、外蓋和殼體之間也分別安裝有O型密封圈并用螺釘壓緊。

本發明所述氣閥的外圓柱面與右側板上圓形氣孔的內圓柱面之間夾緊安裝有O型密封圈，形成可拆卸密封。

本發明采用上述組成結構，殼體和殼蓋之間構成內真空室，殼體與前端板、后端板、左側板、右側板之間構成環形外真空室；蓋部夾層空間通過通氣孔與環形夾層空間連通，進而構成整個外真空室，對激光器核心部件形成了雙層密封，對照現有技術，本發明結構緊湊、體積小，可分別局部拆卸安裝調整電路和激光諧振腔，調整、操作方便，雙層殼體密封，延長激光器壽命，是一種理想的雙層密封射頻激勵“Z”折疊波導CO₂激光器。

附圖說明

下面結合附圖對本發明做進一步說明。

圖1是本發明組成結構示意圖。

圖2是本發明橫向剖面示意圖。

圖3是本發明縱向剖面示意圖。