[發(fā)明專利]放電燈、光源裝置、曝光裝置及曝光裝置的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110306079.7
• 申請日: 2007-08-30
• 公開（公告）號: CN102518954A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白數(shù)廣;青木保夫;小山元夫;菊池孝幸
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社尼康
• 主分類號: F21S2/00
• 分類號: F21S2/00;F21V21/00;F21V29/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;楊林森

1.一種光源裝置，其具備：具有形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件的放電燈；具有經(jīng)由所述燈頭構(gòu)件保持所述放電燈的保持構(gòu)件的保持裝置，其特征在于，

所述放電燈所具備的所述燈頭構(gòu)件具有：

抵接部，其與所述保持構(gòu)件抵接而規(guī)定所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的在第一方向的位置；

被推靠部，其被施加將所述抵接部沿著所述第一方向向所述保持構(gòu)件推壓的推壓力；

嵌合部，其設(shè)在所述抵接部與所述被推靠部之間，并與所述保持構(gòu)件嵌合；

槽部，其設(shè)在所述嵌合部中，在其與所述保持構(gòu)件之間構(gòu)成從所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷卻用介質(zhì)的流路，

所述保持裝置具有：

所述保持構(gòu)件；

對所述被推靠部施加所述推壓力的推靠構(gòu)件；

切換機構(gòu)，其切換利用所述推靠構(gòu)件的將所述抵接部向所述保持構(gòu)件的推壓和該推壓的解除；

介質(zhì)供給裝置，其將用于冷卻所述燈頭構(gòu)件的所述冷卻用介質(zhì)經(jīng)由所述槽部向所述流路供給。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源裝置，其特征在于，所述放電燈的所述被推靠部具有段部，在利用所述推靠構(gòu)件將所述抵接部向所述保持構(gòu)件推壓之時，所述推靠構(gòu)件的至少一部分插入所述段部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，設(shè)在所述燈頭部中的所述槽部，被以環(huán)繞沿著所述第一方向的軸的螺旋狀形成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的光源裝置，其特征在于，在所述放電燈的所述抵接部形成至少一個定位部，

在所述保持裝置的所述保持構(gòu)件形成與所述定位部卡合的至少一個凸部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的光源裝置，其特征在于，在所述放電燈的所述抵接部形成至少一個定位部，

在所述保持裝置的所述保持構(gòu)件形成與所述定位部卡合的至少一個凸部，

所述定位部與所述凸部在將所述放電燈安裝在所述保持裝置上的狀態(tài)下在所述介質(zhì)供給裝置與所述槽部連通的位置卡合。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光源裝置，其特征在于，

所述保持裝置具有：

彈性構(gòu)件；

移動件，其具有相對于所述第一方向傾斜的錐面，因有所述彈性構(gòu)件的彈力作用而沿著所述第一方向移動；

臂構(gòu)件，其與所述錐面抵接而將所述移動件的所述第一方向的移動變換為朝向所述段部的插入方向的移動，并作為至少一部分被插入所述段部的所述推靠構(gòu)件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光源裝置，其特征在于，所述移動件包含將所述放電燈的所述燈頭構(gòu)件的至少一部分包圍地配置的圓筒狀的構(gòu)件，

所述臂構(gòu)件被環(huán)繞所述燈頭構(gòu)件以大致等角度間隔配置多個。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的光源裝置，其特征在于，所述保持裝置的所述切換機構(gòu)具有：

可旋轉(zhuǎn)地配置的桿構(gòu)件；

連桿機構(gòu)，其與所述桿構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)地將所述移動件沿所述第一方向移動。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項所述的光源裝置，其特征在于，所述放電燈具有在與所述燈頭構(gòu)件不同的位置與所述玻璃構(gòu)件連結(jié)的第二燈頭構(gòu)件，

在所述第二燈頭構(gòu)件的內(nèi)部設(shè)置冷卻用介質(zhì)所流通的流路。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光源裝置，其特征在于，所述燈頭構(gòu)件、所述發(fā)光部及所述第二燈頭構(gòu)件被沿著所述第一方向配置，

所述第二燈頭構(gòu)件具有以環(huán)繞沿著所述第一方向的軸的螺旋狀形成的流路。

11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的光源裝置，其特征在于，所述第二燈頭構(gòu)件具備供給所述冷卻用介質(zhì)和點亮所述放電燈用的電力的用力接收端子。

12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任意一項所述的光源裝置，其特征在于，具備：

可與所述用力接收端子卡合的用力供給端子；

向所述用力供給端子導(dǎo)入電力和冷卻用介質(zhì)的由導(dǎo)體形成的具有柔軟性的管狀電纜。