[發明專利]回收廢液中的硅的方法

無效

• 申請號: 201110305690.8
• 申請日: 2011-09-29
• 公開（公告）號: CN103030147A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 羅逸政
• 申請（專利權）人: 匯隆科技有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;常大軍

技術領域

本發明涉及廢液處理領域，特別涉及一種能夠于廢液中回收硅的方法。

背景技術

在一般工業工藝的過程中，常常會產生含有固含物的廢液，例如光電業半導體工藝中切削硅晶塊的程序，會使用線型刀片并搭配混有鉆石或碳化硅(俗稱金剛砂)磨粒的切削液，在刀片高速旋轉下將硅晶塊切割成硅芯片，而在切割硅晶塊的過程中所產生的破片和碎屑，就會混雜在切削液中并逐漸累積(在一硅晶塊切削廢液中，約有40％的硅因為線型刀片的寬度而損耗)，導致切削液固含物含量太高無法繼續利用而成為廢液，最終只能丟棄，不僅不環保且不符合經濟效益。

雖然有業者將前述廢液單純通過濾布，嘗試去除廢液中的固含物，但現有濾布過濾方式無法將固含物中較具經濟價值的硅由廢液中分離出來，且因固含物會阻塞濾布，導致過濾效果不顯著，過濾后的廢液仍舊無法達到重復使用的經濟效益。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種回收廢液中的硅的方法，能有效將廢液中的硅回收利用。

為達上述目的，本發明所提供的回收廢液中的硅的方法，主要包括有下列步驟：(a)以過濾方式分離一廢液中的固含物及液體，該固含物包含硅及碳化硅；(b)將該固含物與水混合為一混合液體；(c)以離心方式由該混合液體中分離出硅及水；及(d)進行一干燥步驟，以移除水并取得硅。

以下結合附圖和具體實施例對本發明進行詳細描述，但不作為對本發明的限定。

附圖說明

圖1為本發明一較佳實施例回收廢液中的硅的方法流程圖；

圖2為本發明該較佳實施例的過濾方式所使用的裝置的示意圖；以及

圖3為本發明該較佳實施例的過濾方式的示意圖。

其中，附圖標記

10?裝置

20?助濾材容置桶

21?助濾材

23?液體

30?助濾材注入管路

31?廢液管路

33?回收液管路

35?回流管路

40?板框式壓濾機

41?濾布

43?助濾層

45?過濾結構

50?廢液容置桶

51?固含物

53?廢液

60?回收液儲存桶

61?回收液

S11～S15?本發明的方法的步驟

具體實施方式

為了更了解本發明的特征，以下列舉較佳實施例并配合附圖說明于后。

圖1為本發明一較佳實施例回收廢液中的硅的方法流程圖。首先參考步驟S11，以過濾方式分離一廢液中的固含物及液體，其中該固含物包含硅及碳化硅。

在本發明的該較佳實施例的回收廢液中的硅的方法中，可使用如圖2所示的裝置10過濾廢液53，該裝置10主要包括有一助濾材容置桶20，其內盛裝包含有助濾材21的液體23如硅晶塊切削液，該助濾材容置桶20經由一助濾材注入管路30連接于一設置有濾布41的板框式壓濾機40的入口，此外，一廢液容置桶50經由一廢液管路31而連接于該設置有濾布41的板框式壓濾機40的入口，該廢液容置桶50內盛裝包含有固含物51的廢液53，該板框式壓濾機40的出口則分別與一回收液管路33以及一回流管路35相連接，該回收液管路33連通于一回收液儲存桶60，而該回流管路35連通于該助濾材容置桶20。在以下實施例中，是以光電業半導體工藝所使用的硅晶塊切削液舉例說明，然而實際上并不局限于此。

配合參考圖2及圖3，本發明該較佳實施例的回收廢液中的硅的方法中，廢液53的過濾主要是先將含有助濾材21的液體23通過一濾布41，使助濾材21堆棧覆蓋于該濾布41表面并形成一助濾層43，該濾布41及覆蓋于該濾布41的該助濾層43構成一過濾結構45，之后再將欲過濾的廢液53通過堆棧覆蓋有該助濾層43的濾布41，通過該助濾層43阻擋廢液53中的固含物51，以獲得相對澄清的回收液61，也即，通過該過濾結構45以分離該廢液53中的固含物51及液體。

本發明的過濾方式中所使用的助濾材21可為硅藻土、活性碳、蛇紋石粉、離子交換樹脂、石英砂、錳砂或其混合物。若欲過濾的廢液53為硅晶塊切削液時，則該助濾材21宜為活性碳。