[發(fā)明專利]多探針共成像的超高真空四探針掃描隧道顯微鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110304626.8
• 申請日: 2011-10-10
• 公開（公告）號: CN102445568A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張朝暉;王志剛
• 申請（專利權(quán)）人: 北京大學(xué)
• 主分類號: G01Q60/12
• 分類號: G01Q60/12;G01Q60/16
• 代理公司: 北京萬象新悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11360
• 代理人: 賈曉玲

1.一種超高真空四探針掃描隧道顯微鏡，所述超高真空四探針掃描隧道顯微鏡包括：超高真空腔體，其特征在于：在所述超高真空腔體的頂部由刀口法蘭密封安裝有三維調(diào)節(jié)鏡架以及在所述三維調(diào)節(jié)鏡架上安裝有光學(xué)顯微鏡；在所述超高真空腔體的內(nèi)部經(jīng)由四根彈簧懸掛有減振底盤；在所述減振底盤的中央安裝有能夠在XY平面掃描的樣品臺部件；在所述減振底盤上且處于所述樣品臺部件的四周安裝有四個探針位移驅(qū)動器；四個探針Z向掃描器分別安裝在所述四個探針位移驅(qū)動器上；以及四個掃描探針分別安裝在所述四個探針Z向掃描器上。

2.如權(quán)利要求1所述的超高真空四探針掃描隧道顯微鏡，其特征在于，所述樣品臺部件進一步包括樣品臺、樣品臺掃描器以及支撐管，其中，所述樣品臺用絕緣膠粘接在樣品臺掃描器的頂端，所述樣品臺掃描器的底端用絕緣膠粘接在所述支撐管上，所述支撐管緊固在所述減振底盤上。

3.如權(quán)利要求2所述的超高真空四探針掃描隧道顯微鏡，其特征在于，所述樣品臺掃描器為壓電陶瓷管，所述壓電陶瓷管的內(nèi)外壁均鍍有金屬膜，將內(nèi)外壁的金屬膜按相同的方式劃分四等份，使得內(nèi)外壁各形成四個獨立的電極，對所述壓電陶瓷管的四個獨立電極施加電壓，會引起所述壓電陶瓷管在相應(yīng)的電極的方向發(fā)生微小的彎曲變形，從而引起所述樣品臺在水平面上的微小平動，因此實現(xiàn)所述樣品臺在XY平面掃描。

4.如權(quán)利要求1所述的超高真空四探針掃描隧道顯微鏡，其特征在于，每一個所述探針位移驅(qū)動器為壓電陶瓷驅(qū)動器，能夠在XYZ三個方向上進行三維驅(qū)動。

5.如權(quán)利要求1所述的超高真空四探針掃描隧道顯微鏡，其特征在于，每一個探針Z向掃描器為壓電陶瓷管，可沿Z方向伸縮變形。