[發明專利]一種真空高溫爐坩堝支撐體

無效

• 申請號: 201110303361.X
• 申請日: 2011-10-09
• 公開（公告）號: CN102345159A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 劉世全;徐家慶
• 申請（專利權）人: 廣州市晶藍燈飾有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及熔體籽晶法單晶生長設備，尤其涉及一種真空高溫爐坩堝支撐體。

技術背景

目前對于真空高溫爐內反應器，如坩堝一般手用下部支撐，在用時要求具有真空、高溫及壓應力負荷條件。通常的做法是手用鎢、鉬等高熔點金屬支撐體，這種支撐柱雖可承受真空高溫環境下的重低，但其導熱系數大，熱量從支撐柱向下流出高溫爐，導致熱效率低，尤其是對于要求爐內上部溫度低，下部溫度高的溫度梯度爐來說，下部支撐體熱導系數2p，往往有礙于形成上低下高的順序溫度分布。

發明內容

為了克服現有真空高溫爐坩堝支撐體技術的不足，本發明提供一種采用難熔金屬薄片及金屬網交替疊合組成高溫爐坩堝支撐體，導熱系數較低，提高熱效率。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：將難熔金屬薄片和金屬網分別切割成若干個相同大小的圓片和圓網，并在圓片和圓網上面合適的位置打安裝孔。然后將若干個圓片、圓網按ABABAB……形式逐步交替疊合，并用螺栓螺母通過安裝機將疊合體緊固為一體，形成坩堝支撐體。其導熱系數低，從而提高熱效率。

本發明產生的有益效果是，支撐體耐高溫、低導熱、無蓄氣、無揮發成份特點；大量適用于真空高溫爐內反應器的支撐，尤其是籽晶的置法晶體生長爐，如旋轉提拉爐泡生法晶體生長爐。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。

圖1是金屬薄片實施例的結構圖。

圖2是金屬網實施例的結構圖。

圖3是本發明支撐體疊合示意圖。

圖4是本發明支撐體的剖面圖

附圖標記說明：1.圓形金屬薄片，2.圓形金屬網，3.安裝孔，4.螺栓，5.螺母。

具體實施方式

在圖1、2實施例中，先將難熔金屬加工成金屬薄片和金屬網，然后將金屬薄片和金屬網分別切割成若干個相同大小的圓形金屬薄片(1)和圓形金屬網(2)，并在圓形金屬薄片(1)和圓形金屬網(2)上面合適的位置打安裝孔(3)和固定孔。

在圖3、4實施例中，將若干個圓形金屬薄片(1)和圓形金屬網(2)按ABABAB……形式逐步交替疊合，然后將螺栓(4)螺母(5)通過安裝機將疊合體緊固為一體，形成坩堝支撐體，即形成真空高溫爐坩堝支撐體。