[發(fā)明專利]一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置

有效

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• 申請日: 2011-09-29
• 公開（公告）號: CN102426295A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沈玉良
• 申請（專利權(quán)）人: 沈玉良
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;H01C17/242
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路制造設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置。

背景技術(shù)

激光調(diào)阻，是一種修調(diào)電阻阻值的工藝。其原理是：當(dāng)高功率激光光束撞擊厚膜或薄膜電阻材料表面時，光束撞擊處的電阻材料介質(zhì)氣化，使電阻阻值升高。激光調(diào)阻機(jī)就是利用此原理，對電阻進(jìn)行修調(diào)，得到符合阻值精度要求的電阻的裝置。

激光調(diào)阻機(jī)在修調(diào)電阻前，需要先測量得到待修調(diào)電阻的阻值。現(xiàn)有技術(shù)中，在激光調(diào)阻時，一臺電阻測試儀需要對同一基片上幾個或幾十個電阻進(jìn)行阻值測量。因此，激光調(diào)阻機(jī)采用繼電器矩陣對多個電阻進(jìn)行測試。繼電器矩陣通常由N(行)×2(列)個繼電器組成，每行為一個測試通道。對于每個通道，第一列的繼電器動作時，該通道與測試儀表的測試高端連接；第二列的繼電器動作時，該通道與測試儀表的測試低端連接。測試電阻時必須建立兩個(或兩個以上)不同的測試通道：一個通道連接高端(HP)，另一個通道連接低端(LP)。

上面提到，進(jìn)行電阻測量時，必須要為每個電阻建立互不相干的測試通道。現(xiàn)有技術(shù)中，激光調(diào)阻機(jī)建立電阻測試通道的方法基本上是通過IO擴(kuò)展卡輸出控制信號至繼電器驅(qū)動電路，再驅(qū)動繼電器動作來實現(xiàn)的。通過繼電器矩陣電路，可以分別建立各個電阻的測試通道。

但是，現(xiàn)有技術(shù)中，激光調(diào)阻機(jī)在使用時，激光調(diào)阻機(jī)的主機(jī)即為PC主機(jī)。主機(jī)運行IO擴(kuò)展卡設(shè)備驅(qū)動程序，繼電器矩陣控制信號由IO擴(kuò)展卡輸出。由于主機(jī)運行IO擴(kuò)展卡設(shè)備驅(qū)動程序的同時，會運行操作系統(tǒng)程序，所以測試通道建立時間長，對于多電阻修調(diào)及檢測，需要耗費多時間，從而使激光調(diào)阻機(jī)的測試電阻的效率降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置，能夠提高激光調(diào)阻機(jī)的測試電阻的效率。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下方案：

一種用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置，包括：繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，以及九個8×3繼電器矩陣電路；每個8×3繼電器矩陣電路包括8行3列繼電器；所述九個8×3繼電器矩陣電路依次相連；每個8×3繼電器矩陣電路的一端通過EST總線與激光調(diào)阻機(jī)CPU控制單元相連，另一端通過連接件及電纜線與電阻測量探針相連；所述九個8×3繼電器矩陣電路與激光調(diào)阻機(jī)的電阻測量單元相連。

優(yōu)選的，所述繼電器為：雙極繼電器。

優(yōu)選的，所述繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，包括：譯碼器電路、驅(qū)動電路和數(shù)據(jù)鎖存器；所述數(shù)據(jù)鎖存器控制行列繼電器開或關(guān)。

優(yōu)選的，所述繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路，還包括：反相電路；用于對所述譯碼器電路的輸出進(jìn)行反相，并將反相后的信號輸出至所述驅(qū)動電路。

優(yōu)選的，所述譯碼器電路為雙2-4譯碼器電路。

根據(jù)本發(fā)明提供的具體實施例，本發(fā)明公開了以下技術(shù)效果：

本發(fā)明所公開的用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置，建立電阻測試通道時，是CPU直接對繼電器矩陣單元進(jìn)行寫操作，所以通道建立時間很短，使得多電阻修調(diào)及檢測速度快，效率高。

此外，由于采用9×8×3繼電器矩陣，最多可以有72個測試通道，便于多電阻的一次性修調(diào)。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明所公開的用于激光調(diào)阻機(jī)的繼電器矩陣及驅(qū)動裝置結(jié)構(gòu)圖；

圖2為8×3繼電器矩陣電路圖；

圖3為連接件CON1結(jié)構(gòu)圖；

圖4為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第一部分電路圖；

圖5為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第二部分電路圖；

圖6為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第三部分電路圖；

圖7為繼電器矩陣控制及驅(qū)動電路第四部分電路圖；

圖8為外設(shè)單元FE50H-FE61H的映象圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。