[發明專利]圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法

有效

• 申請號: 201110300836.X
• 申請日: 2011-09-30
• 公開（公告）號: CN102336514A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: 尚金堂;于慧;秦順金
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: C03B19/00
• 分類號: C03B19/00;C03C15/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓然

1.一種圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

第一步，在硅圓片（1）上刻蝕微槽陣列（2）得到硅圓片模具；第二步，在所述硅圓片模具的微槽陣列(2)內放置熱釋氣劑粉末(6)；第三步，將硼硅玻璃圓片與所述硅圓片模具通過粘結層(11)粘結在一起，使得硅圓片模具的微槽陣列(2)密封；第四步，將粘結好的所述圓片加熱，至玻璃軟化溫度以上并保溫，熱釋氣劑放出的氣體使得軟化的玻璃成型獲得玻璃微腔（4），冷卻，退火；第五步，然后將上述成型后的圓片放入粘結層腐蝕劑中，去除粘結層（11），從而脫去硅圓片模具，得到圓片級玻璃微腔（4）。

2.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，所述粘結層為金屬鋁，所述粘結層腐蝕劑為磷酸，腐蝕溫度為80°C，腐蝕時間：2-60min。

3.根據權利要求2所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，所述金屬鋁通過濺射或電鍍的方法沉積在硼硅玻璃圓片表面或硅圓片模具表面。

4.根據權利要求2所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，所述金屬鋁采用鋁箔直接放置于硼硅玻璃圓片與硅圓片模具之間。

5.根據權利要求3或4所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，所述金屬鋁層的厚度為10-15微米。

6.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，所述的硼硅玻璃圓片為Pyrex7740玻璃圓片。

7.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，所述熱釋氣劑為碳酸鈣粉末或氫化鈦粉末。

8.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，所述退火溫度為550℃-570℃，退火保溫時間為30min，然后緩慢風冷至常溫。

9.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，第四步所述粘結好的圓片加熱溫度為820℃-900℃。

10.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的可脫模發泡制備方法，其特征在于，第三步所述的粘結采用的方法為陽極鍵合，陽極鍵合條件為：電壓600V-800V，溫度為300℃-500℃。