[發(fā)明專利]提高多晶硅尾氣分離系統(tǒng)還原單元回收氯化氫純度的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110298696.7
• 申請(qǐng)日: 2011-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102389687A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫明炳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 四川瑞能硅材料有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/14
• 分類號(hào): B01D53/14;C01B7/01
• 代理公司: 成都九鼎天元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214
• 代理人: 徐宏;吳彥峰

1.一種提高多晶硅尾氣分離系統(tǒng)還原單元回收氯化氫純度的方法，其特征在于所述方法包括以下步驟：

（1）來(lái)自多晶硅尾氣干法分離系統(tǒng)還原單元的氯化氫氣體首先進(jìn)入分離系統(tǒng)氫化單元的分離器1中，與分離系統(tǒng)氫化單元本身的氣體混合，混合后的混合氣體通過(guò)第一氣氣換熱器2換熱，再經(jīng)壓縮機(jī)3加壓提高混合氣體的壓力，與來(lái)自吸收塔的氫氣通過(guò)第二氣氣換熱器4進(jìn)行換熱，然后送入吸收塔5中被制冷劑冷卻的氯硅烷液體吸收，形成含有氯化氫的氯硅烷液體，簡(jiǎn)稱富液，所述制冷劑來(lái)自第二制冷劑換熱器12；

（2）上述含有氯化氫的氯硅烷液體靠吸收塔5與解析塔7的壓差送入解析塔7內(nèi)，依靠解析塔塔釜溫度將含有氯化氫的氯硅烷液體中的氯化氫氣體解析出來(lái)，解析后的氯化氫氣體通過(guò)制冷劑冷卻，再通過(guò)分離器分離出氯化氫氣體中夾帶的氯硅烷液體后直接輸送到合成車間循環(huán)使用；

（3）從解析塔塔釜解析出氯化氫的氯硅烷液體依次通過(guò)循環(huán)水換熱器9、液液換熱器6、第二制冷劑換熱器12換熱之后送入吸收塔循環(huán)吸收混合氣體中的氯化氫氣體。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（1）中的混合氣體包括氫氣、氯化氫、二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（1）中的混合氣體經(jīng)第一換熱器2換熱后溫度為-4～10℃、壓力為0.45MPaG。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（1）中混合氣體經(jīng)壓縮機(jī)加壓后壓力為1.35MPaG、溫度為40℃。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（1）制冷劑冷卻的氯硅烷液體的溫度為-40℃。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（2）中所述吸收塔與解析塔的壓差為0.55?MPaG。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（2）中所述解析塔塔釜溫度為120℃～130℃。

8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（2）中從所述解析塔解析出的氯化氫氣體溫度為-40℃～-31.55℃、壓力為0.80?MPaG。

9.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（2）中所述解析塔解析出的氯化氫氣體經(jīng)過(guò)制冷劑冷卻之后溫度為-40℃。

10.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：步驟（3）中從解析塔塔釜解析出氯化氫的氯硅烷液體的溫度為120℃～130℃，經(jīng)過(guò)循環(huán)水換熱器、液液換熱器、制冷劑換熱器換熱之后溫度為-40℃、壓力為1.7MPaG。