[發明專利]一種增強金屬薄膜表面疏水性的方法

無效

• 申請號: 201110298500.4
• 申請日: 2011-09-29
• 公開（公告）號: CN102310038A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: 李剛;程文明;儲怡士
• 申請（專利權）人: 華東交通大學
• 主分類號: B05D5/08
• 分類號: B05D5/08
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 張靜

1.一種增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：步驟如下：

（1）基體表面清洗：將基底依次用丙酮、乙醇和去離子水超聲清洗，清洗的時間為5～10?min，在氮氣中吹干，待用；

（2）金屬薄膜制備：利用鍍膜技術在上述表面平整的基體表面沉積一層厚度均勻的金屬薄膜；

（3）薄膜的熱處理：將上述沉積一層金屬薄膜的基體放入石英舟上，石英舟置于管式爐中石英管的中間位置，密封后按設定升溫速率提高溫度，同時通入惰性氣體，將石英管中空氣排凈后，關閉惰性氣體，再通入氫氣繼續加熱到設定的溫度，并在該溫度下恒溫10?～50?min，之后關閉氫氣，停止加熱，在惰性氣體的保護下冷卻至室溫取出；

（4）熱處理后薄膜化學修飾：將熱處理好的金屬薄膜浸入全氟四氫葵烷基三氯硅烷的正己烷溶液中，3～8?h?后取出即可得到超疏水性表面。

2.按照權利要求1所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：升溫速率為10～50℃/min。

3.按照權利要求1所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于:設定溫度為沉積金屬材料熔點的一半以上任一溫度值。

4.按照權利要求1或2或3所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：管式爐為自動控溫管式爐。

5.按照權利要求1或2或3所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：基體為石英、硅片、金剛石、金屬、金屬氧化物等耐高溫材料。

6.按照權利要求1或2或3所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：鍍膜技術采用磁控濺射的方法或電子束蒸發的方法。

7.按照權利要求1或2或3所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：惰性氣體為氬氣或氮氣。

8.按照權利要求1或2或3所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：惰性氣體的流量為100～600?sccm。

9.按照權利要求1或2或3所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于氫氣的流量為100～500?sccm。

10.按照權利要求1或2或3所述增強金屬薄膜表面疏水性的方法，其特征在于：化學修飾中全氟四氫葵烷基三氯硅烷的正己烷溶液的濃度為0.1～0.5?mol/l。