[發明專利]寬帶金屬介電反射光柵無效
| 申請號： | 201110297954.X | 申請日： | 2011-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN102360090A | 公開（公告）日： | 2012-02-22 |
| 發明（設計）人： | 周常河;胡安鐸 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 寬帶 金屬 反射光柵 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于800納米波段的寬帶金屬介電反射光柵，特征在于其結構為熔融石英基底(4)上依次分別鍍上鉻膜(3)、金膜(2)和熔融石英膜(1)，在熔融石英層(1)上刻蝕矩形槽光柵，該光柵的周期為800～855納米，占空比為0.3～0.4，刻蝕深度為575～595納米，連接層厚度為10～30納米。
2.根據權利要求1所述的寬帶金屬介電反射光柵，其特征在于所述的光柵的周期為830納米，占空比為0.4，光柵的刻蝕深度為590納米，連接層厚度為30納米。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院上海光學精密機械研究所，未經中國科學院上海光學精密機械研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110297954.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
