[發明專利]數字微鏡器件及其形成方法

有效

• 申請號: 201110297787.9
• 申請日: 2011-09-30
• 公開（公告）號: CN102360121A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發明（設計）人: 毛劍宏;唐德明
• 申請（專利權）人: 上海麗恒光微電子科技有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81C1/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種數字微鏡器件，其特征在于，包括：

基底，所述基底上形成有微鏡器件控制電路結構；

位于所述基底上的數字微鏡陣列，數字微鏡陣列中的每一數字微鏡包括 一個反光鏡、兩個第一極板、兩個第二極板；

所述兩個第二極板位于所述基底上，與所述微鏡器件控制電路結構電連 接；

所述兩個第一極板位于所述兩個第二極板上方，且分別與所述兩個第二 極板相對；

所述反光鏡位于所述兩個第一極板上方，且所述反光鏡通過第一插栓與 兩個第一極板電連接；

相對設置的兩個卡口，所述卡口固定在基底上且與所述微鏡器件控制電 路結構電連接，所述反光鏡的兩相對側邊可活動設置在所述卡口內，在所述 反光鏡與所述卡口接觸時，所述卡口與所述反光鏡電連接；在其中一個第一 極板和對應的第二極板之間具有電壓差時，所述反光鏡在所述第一極板的帶 動下向對應的第二極板方向偏轉。

2.如權利要求1所述的數字微鏡器件，其特征在于，還包括兩個連接端；所 述兩個連接端位于兩個第二極板之間的基底上；

所述第二極板通過第二插栓與所述微鏡器件控制電路結構電連接；

所述連接端通過第三插栓與所述微鏡器件控制電路結構電連接，所述卡 口通過第四插栓與所述連接端電連接。

3.如權利要求2所述的數字微鏡器件，其特征在于，所述卡口包括底板、頂 板以及側壁；所述底板與所述第四插栓電連接，所述頂板與所述底板相對， 所述側壁連接所述底板與所述頂板。

4.如權利要求1～3任一項所述的數字微鏡器件，其特征在于，所述第一極板 包括導電層和介質層，所述導電層靠近所述第二極板，所述介質層遠離所述 第二極板，所述介質層相對于所述導電層具有壓應力。

5.如權利要求1～3任一項所述的數字微鏡器件，其特征在于，所述第一極板 包括導電層和介質層，所述導電層遠離所述第二極板，所述介質層靠近所述 第二極板，所述介質層相對于所述導電層具有拉應力。

6.如權利要求4所述的數字微鏡器件，其特征在于，所述第一極板的介質層 的材料選自氧化硅、碳化硅、氮氧化硅、碳氧化硅其中之一或者他們的任意 組合。

7.如權利要求1～3任一項所述的數字微鏡器件，其特征在于，還包括密封蓋 陣列，每一個密封蓋在所述每一個數字微鏡上方遮蓋所述數字微鏡。

8.如權利要求7所述的數字微鏡器件，其特征在于，

所述密封蓋包括封蓋層、密封層和連接柱；

所述封蓋層位于所述數字微鏡上方，通過連接柱與所述卡口連接，所述 封蓋層具有開口；

所述密封層位于所述封蓋層表面，且密封所述開口。

9.如權利要求1～3任一項所述的數字微鏡器件，其特征在于，所述微鏡器件 控制電路結構為CMOS控制電路結構。

10.一種形成權利要求3所述的數字微鏡器件的方法，其特征在于，包括：

提供基底，所述基底上形成有微鏡器件控制電路結構；

在所述基底上形成第二極板、連接端以及第二極板、連接端與所述微鏡 器件控制電路結構連接的第二插栓和第三插栓；

形成第一犧牲層，覆蓋所述第二極板和基底形成的表面，在所述第一犧 牲層的表面形成第一極板；

形成第二犧牲層，覆蓋所述第一極板和所述第一犧牲層，在所述第二犧 牲層和第一犧牲層中形成第四插栓，在所述第四插栓上形成所述卡口的底板；

形成第三犧牲層，覆蓋所述第二犧牲層、所述卡口的底板，在所述第三 犧牲層和第二犧牲層中形成第一插栓，在所述第三犧牲層的表面形成反光鏡；

形成第四犧牲層，覆蓋所述第三犧牲層和所述反光鏡，在所述第四犧牲 層和第三犧牲層中形成卡口的側壁、第四犧牲層的表面形成卡口的頂板；

去除第四犧牲層、第三犧牲層、第二犧牲層以及第一犧牲層。