[發明專利]形成用于導線回路和導電凸點的導線鍵合的方法

有效

• 申請號: 201110294325.1
• 申請日: 2011-09-26
• 公開（公告）號: CN102420150A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: W·秦;J·W·布倫納;P·A·里德
• 申請（專利權）人: 庫利克和索夫工業公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H01L21/66
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 舒雄文;蹇煒

1.一種使用導線鍵合機形成導線鍵合的方法，所述方法包括如下步驟：

(1)選擇至少一個目標鍵合控制值；

(2)使用算法和所述至少一個選擇的目標鍵合控制值來生成用于形成導線鍵合的鍵合參數；

(3)使用所生成的鍵合參數來形成導線鍵合；

(4)確定所形成的導線鍵合的所述至少一個選擇的目標鍵合控制值是否在所述至少一個選擇的目標鍵合控制值的預定公差內；

(5)如果所形成的導線鍵合的所述至少一個選擇的目標鍵合控制值不在所述預定公差內，則調整至少一個鍵合調整值；以及

(6)使用算法和所述至少一個調整的鍵合調整值來生成用于形成后續導線鍵合的修正的鍵合參數。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(1)包括將所述至少一個目標鍵合控制值選擇為使得所述至少一個目標鍵合控制值包括以下至少其一：(a)導線鍵合的鍵合球的直徑；以及(b)導線鍵合的切變強度。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(1)包括將所述至少一個目標鍵合控制值選擇為使得所述至少一個目標鍵合控制值是導線鍵合的鍵合球的直徑。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(2)包括將所述鍵合參數生成為包括以下至少其一：(a)用于形成導線鍵合的鍵合時間；(b)用于形成導線鍵合的超聲能分布；(c)鍵合工具接近用于形成導線鍵合的鍵合位置的速度分布；(d)在使用無空氣球來形成導線鍵合的情況下，所述無空氣球的尺寸；(e)用于形成所述無空氣球的電子打火能量分布；以及(f)用于形成導線鍵合的鍵合力分布。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(2)的所述算法不同于步驟(6)的所述算法。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(2)的所述算法與步驟(6)的所述算法相同。

7.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(3)包括使用所生成的鍵合參數來形成多個導線鍵合。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，步驟(4)包括確定所述多個形成的導線鍵合中的所述至少一個選擇的目標鍵合控制值的集合是否在所述預定公差內。

9.根據權利要求1所述的方法，其中，從導線鍵合機離線地執行步驟(4)。

10.根據權利要求1所述的方法，其中，在導線鍵合機上執行步驟(4)。

11.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(5)包括將所述至少一個鍵合調整值選擇為包括以下至少其一：(a)鍵合球強度調整；(b)鍵合球直徑調整；(c)鍵合球高度調整；(d)金屬間分布調整；以及(e)鍵合焊盤濺斑調整。

12.一種使用導線鍵合機形成導線鍵合的方法，所述方法包括如下步驟：

(1)選擇至少一個目標鍵合控制值，所述至少一個目標鍵合控制值包括導線鍵合的鍵合球的直徑；

(2)使用算法和所述至少一個選擇的目標鍵合控制值來生成用于形成導線鍵合的鍵合參數；

(3)使用所生成的鍵合參數來形成導線鍵合；

(4)確定所形成的導線鍵合的所述至少一個選擇的目標鍵合控制值是否在所述至少一個選擇的目標鍵合控制值的預定公差內；

(5)如果所形成的導線鍵合的所述至少一個選擇的目標鍵合控制值不在所述預定公差內，則調整至少一個鍵合調整值；以及

(6)使用算法和所述至少一個調整的鍵合調整值來生成用于形成后續導線鍵合的修正的鍵合參數。

13.根據權利要求12所述的方法，其中，步驟(1)包括將所述至少一個目標鍵合控制值選擇為使得所述至少一個目標鍵合控制值還包括導線鍵合的切變強度。

14.根據權利要求12所述的方法，其中，步驟(1)包括將所述至少一個目標鍵合控制值選擇為使得所述至少一個目標鍵合控制值是導線鍵合的鍵合球的直徑。