[發明專利]具有微波能輸送裝置的微波等離子體源

有效

• 申請號: 201110294000.3
• 申請日: 2011-07-20
• 公開（公告）號: CN102378463A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: J·馬伊;H·梅利希;P·沃爾夫;H·施勒姆
• 申請（專利權）人: 德國羅特·勞股份有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 董華林

1.微波等離子體源，其具有微波能輸送裝置，所述微波能輸送裝置用于將微波能從微波供應器(1)經由波導過渡接頭和同軸導體系統輸送到保護管(3)內部的內導體(2)，該保護管設置在真空室(4)內部并且相對于大氣密封，其特征在于，所述內導體(2)和保護管(3)終結且保持在真空室(4)的真空側的平面內；有在一邊無電位地接地的波導過渡接頭；在內導體(2)的軸向上設置作為同軸內導體的導管(8)，所述導管沿軸向在同軸外導體(6)內部延伸直到真空室(4)的真空側的平面；并且在導管(8)內部設置可移動的導體棒(18)，使得導體棒能與內導體(2)接觸。

2.根據權利要求1所述的微波等離子體源，其特征在于，有錐形過渡接頭作為在一邊無電位地接地的波導過渡接頭(9)。

3.根據權利要求1所述的微波等離子體源，其特征在于，有λ/4管接頭或者λ/4滑動件作為在一邊無電位地接地的波導過渡接頭。

4.根據權利要求1所述的微波等離子體源，其特征在于，至少兩個內導體(2)并聯地設置。

5.根據權利要求1至4之一所述的微波等離子體源，其特征在于，所述內導體(2)能在一邊與一個微波供應器連接，或者能在兩邊分別與一個微波供應器連接。

6.根據權利要求4或5所述的微波等離子體源，其特征在于，有用于將至少兩個并聯的內導體(2)先后依次地和/或換邊地與一個或者多個微波供應器連接的構件。

7.根據權利要求4所述的微波等離子體源，其特征在于，至少兩個并聯的內導體(2)構成一個共同的平面。

8.根據權利要求1所述的微波等離子體源，其特征在于，為了將內導體(2)和保護管(3)保持在真空室(4)內部，設有聯接器，該聯接器具有至少一個帶聯接環(12)的鎖緊螺母(11)，所述鎖緊螺母擰接在連接管接頭上。

9.根據權利要求1所述的微波等離子體源，其特征在于，為了將內導體(2)和保護管(3)保持在真空室(4)內部，設有帶卡口式接頭(35、36)的器具。

10.根據權利要求1至9之一所述的微波等離子體源，其特征在于，所述導體棒(18)構造成，使得該導體棒能插入內導體(2)中。

11.根據權利要求1至10之一所述的微波等離子體源，其特征在于，所述導體棒(18)在導管(8)內部絕緣地引導。

12.根據權利要求11所述的微波等離子體源，其特征在于，所述導體棒(18)與交流電壓源連接。

13.根據權利要求4至12之一所述的微波等離子體源，其特征在于，每兩個并聯的內導體(2)通過所屬的導管(8)、波導過渡接頭(28)以及通過橫向件(31)與居中的微波輸送部(30)連接，并且如此構成的二路微波分配器能與一個微波供應器耦合。

14.根據權利要求13所述的微波等離子體源，其特征在于，有λ/4管接頭和/或λ/4滑動件作為波導過渡接頭(28)。

15.根據權利要求4至14之一所述的微波等離子體源，其特征在于，兩個內導體(2)在一邊或者兩邊與二路微波分配器連接，所述二路微波分配器能與微波供應器連接。

16.根據權利要求4至15之一所述的微波等離子體源，其特征在于，至少四個內導體(2)先后依次地設置在一個真空室中，此時，每兩個先后依次設置的內導體(2)構成一組，這些組分別在一邊或者兩邊與二路微波分配器連接，所述二各微波分配器能與微波供應器連接。

17.根據權利要求4至15之一所述的微波等離子體源，其特征在于，至少兩個二路微波分配器換邊地設置在一個真空室中并且分別與一個微波供應器連接，使得至少四個先后依次在兩組中設置的內導體(2)能分別在一邊被供應微波能。

18.根據權利要求4至15之一所述的微波等離子體源，其特征在于，至少兩個二路微波分配器先后依次地、換邊地和嵌套地設置在一個真空室上，并且能分別與一個微波供應器連接，使得至少四個內導體(2)能被供應微波能，內導體(2)的間距大約等于一個二路微波分配器的各導管(8)的軸線的間距的一半。