[發明專利]用于激光打標的方法和用于執行所述方法的裝置

無效

• 申請號: 201110291553.3
• 申請日: 2011-09-21
• 公開（公告）號: CN102529544A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: G·特紹爾;M·維斯貝克
• 申請（專利權）人: 格爾敦管理有限公司
• 主分類號: B44B3/00
• 分類號: B44B3/00
• 代理公司: 廣西南寧明智專利商標代理有限責任公司 45106
• 代理人: 黎明天

技術領域

本發明涉及用于對工件進行激光打標的方法和裝置，所述工件在至少一個維度中大于激光刻字裝置的刻字范圍。本發明的申請案的優選領域為對例如用于生產晶片的半導體列的延伸工件進行打標。為了使生產此半導體列的質量保證合格，在縱向側上向這些半導體列提供條形碼和測試碼。以在鋸開晶片之后其厚度變為處于120μm與210μm之間的方式通過激光刻字來進行打標，條形碼在晶片邊緣上可識別，且通過測試碼的方式，可能得出關于沿著列的長度的晶片的原始位置的結論。

背景技術

已知通過激光刻字來執行半導體列的編碼。然而，由于輻射源以及一方面關于其輻射質量M²的參數且另一方面關于焦距F相互協調的物鏡，已知的解決方案的處理范圍無法涵蓋列的全長，使得只能以部分進行打標。此舉需要很多努力以維持可移動組件的必要精確度，以避免處理范圍之間的錯誤通道，從而導致難辨認的編碼。在不重復方法的情況下，德國實用新型DEE?20?2008?013?199.5以合理應用所需的方式指出對長達500mm的半導體列進行打標的方式。出于這個目的，激光刻字裝置由激光源、輻射引導器和物鏡組成。還在激光源的輻射質量M²達到最大1.2且使用具有810mm(至少810mm)焦距f的物鏡的情況下提供運輸裝置和控制裝置。提供位置校正裝置，且激光刻字裝置具有長度測量系統。

此舉使得本發明的任務允許通過對甚至大于激光刻字裝置的刻字范圍的工件進行激光打標來進行不中斷的編碼。

發明內容

本發明通過使用根據專利技術方案1的激光打標方法和根據專利技術方案4的執行方法的裝置來解決此任務。工件以一種方式定位在激光刻字裝置中，使得待施加的打標的初始坐標屬于激光刻字裝置的刻字范圍內，通過使用輻射引導單元在刻字范圍內引導激光射線，且在至少一個維度中發生工件與刻字范圍之間的相對運動，所述至少一個維度附加地疊加在輻射引導器上并設置為與在同一維度中的射線的偏轉相反，在到達待執行的打標的最終坐標后，即刻停止工件與刻字范圍之間的相對運動以及輻射引導器，并從激光刻字裝置中提取工件。通過允許在提取工件之前進行至少一個附加打標過程來有利地進一步演變根據本發明的方法，所述工件的初始坐標為先前的打標過程的最終坐標，而工件與刻字范圍之間的相對運動的方向與先前的打標過程的相對運動的方向相反。此舉使得可能提高打標的質量和強度。此外，在與工件與刻字范圍之間的相對運動正交的維度中的依序打標過程的初始坐標可以誘發在打標軌道中的改變的方式進行改變，使得可在若干部分中連續進行打標。在改變打標軌道時，激光射線發射本身可中斷。用于執行方法的本發明的裝置由至少一個激光源、輻射引導單元和激光刻字裝置組成，所述激光刻字裝置包括物鏡、工件運輸裝置以及連接到輻射引導單元并具有用以檢測實際坐標值的系統的控制裝置。通過連接到控制裝置的可控制驅動器以相對于相應另一裝置可移動的方式來使至少工件運輸裝置或輻射引導單元符合?？刂蒲b置疊加在刻字范圍中的輻射引導器的功能和工件運輸裝置與輻射引導單元之間的相對運動的功能上。有利地使本發明的裝置符合，使得輻射引導單元符合作為連接到輻射源的掃描器。本發明的裝置的另一有利的符合在于輻射引導單元符合作為通過飛行光學系統連接到輻射源的至少一個割嘴。與在刻字范圍內的輻射引導器的速度相比，工件與刻字范圍之間的相對運動的速度通常較小，使得僅需在軌道的終端處考慮從相對運動中得到的質量慣性。出于這些目的的合適的措施為專家充分熟知，例如，從軌道的每一端之前的足夠距離處開始緩慢減少移位速度。

附圖說明

下文在圖式的幫助下以實施例的優選實例的形式更詳細地說明本發明。圖式展示：

圖1為根據本發明的打標裝置的基本說明的俯視圖，以及

圖2為打標原理。

具體實施方式